[實(shí)用新型]一種擴(kuò)散插片機(jī)及其擴(kuò)散退火碎片檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201922107309.1
• 申請(qǐng)日: 2019-11-29
• 公開（公告）號(hào): CN210443535U
• 公開（公告）日: 2020-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 溫衛(wèi)江;饒旭杰;周典儒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江正泰太陽(yáng)能科技有限公司;海寧正泰新能源科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 徐麗

1.一種擴(kuò)散退火碎片檢測(cè)裝置，其特征在于，包括用以感應(yīng)吸盤存在情況的吸盤感應(yīng)器(1)、用以感應(yīng)頂齒(4)存在情況的頂齒感應(yīng)器(2)，以及設(shè)于所述吸盤感應(yīng)器(1)與所述頂齒感應(yīng)器(2)之間、用以感應(yīng)散落于所述頂齒(4)內(nèi)部的碎片存在情況的碎片感應(yīng)器(3)，所述吸盤感應(yīng)器(1)、所述頂齒感應(yīng)器(2)以及所述碎片感應(yīng)器(3)均設(shè)置于插片機(jī)機(jī)架上；還包括與所述吸盤感應(yīng)器(1)、所述碎片感應(yīng)器(3)、所述頂齒感應(yīng)器(2)以及PLC相連、用以當(dāng)所述吸盤感應(yīng)器(1)未檢測(cè)到吸盤存在、且所述碎片感應(yīng)器(3)檢測(cè)到碎片存在時(shí)，或者所述頂齒感應(yīng)器(2)未檢測(cè)到頂齒(4)存在、且所述碎片感應(yīng)器(3)檢測(cè)到碎片存在時(shí)，能夠控制所述PLC停止運(yùn)行的控制裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散退火碎片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述控制裝置包括與所述碎片感應(yīng)器(3)相連的繼電器KA1、與所述吸盤感應(yīng)器(1)相連的繼電器KA2以及與所述頂齒感應(yīng)器(2)相連的繼電器KA3，所述繼電器KA1、所述繼電器KA2和所述繼電器KA3串聯(lián)于同一線路上，所述繼電器KA1為常開式繼電器，所述繼電器KA2和所述繼電器KA3為常閉式繼電器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的擴(kuò)散退火碎片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述碎片感應(yīng)器(3)具體為光纖感應(yīng)器。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的擴(kuò)散退火碎片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述碎片感應(yīng)器(3)的檢測(cè)位置與頂齒(4)的最低點(diǎn)相平齊。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的擴(kuò)散退火碎片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述吸盤感應(yīng)器(1)和所述頂齒感應(yīng)器(2)具體為光電感應(yīng)器或者光纖感應(yīng)器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5任一項(xiàng)所述的擴(kuò)散退火碎片檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括與所述控制裝置相連、用以當(dāng)所述控制裝置控制所述PLC停止時(shí)鳴響報(bào)警的報(bào)警器。

7.一種擴(kuò)散插片機(jī)，其特征在于，包括上述權(quán)利要求1～6任一項(xiàng)所述的擴(kuò)散退火碎片檢測(cè)裝置。