[實用新型]一種集成式PECVD

有效

• 申請號: 201921990151.0
• 申請日: 2019-11-18
• 公開（公告）號: CN210736882U
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 張文祥;劉雲成;劉冰;周學亮;陳偉;張海媛
• 申請（專利權）人: 天津中環電爐股份有限公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;C23C16/52
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 耿樹志

1.一種集成式PECVD，其特征在于：包括工作臺和工作臺上設置的氣相沉積機構，該氣相沉積機構包括工作臺上滑動設置的爐體、以及爐體上設置的石英管，所述工作臺上設有用于驅動爐體移動的驅動器；所述工作臺上對應石英管兩端的位置設有用于支撐石英管的支撐機構，該支撐機構包括工作臺上滑動設置的連接板、以及連接板上設置的連接架，所述連接架上設有可升降調節的支撐架，連接架上對應支撐架中部的位置設有用于限制支撐架移動的導向組件。

2.根據權利要求1所述的一種集成式PECVD，其特征在于：所述支撐架包括水平設置的支撐板、以及支撐板上設置的支撐座，該支撐座上設有用于承載石英管的容納槽；所述連接架上設有用于安裝支撐板的螺柱，支撐板上設有與螺柱配合的安裝孔，所述螺柱上設有用于調節支撐板高度的調節螺母。

3.根據權利要求1所述的一種集成式PECVD，其特征在于：所述連接架為倒U型結構件，所述導向組件包括連接架中部豎直設置的導向套，該導向套的頂端固定在連接架上、底端固定在連接板上；所述支撐架中部設有與導向套滑動配合的導向柱。

4.根據權利要求3所述的一種集成式PECVD，其特征在于：所述導向柱上設有若干側棱，導向套上設有與側棱配合的導向槽。

5.根據權利要求1所述的一種集成式PECVD，其特征在于：所述工作臺上設有用于控制氣相沉積機構工作的控制機構，該控制機構包括工作臺上滑動安裝的連接座、連接座上轉動安裝的支撐桿、以及支撐桿上設置的觸控屏。

6.根據權利要求5所述的一種集成式PECVD，其特征在于：所述工作臺上設有滑道，連接座上設有與滑道滑動配合的滑動部，該滑動部穿過滑道的一端設有限位板，另一端設有用于固定連接座的頂板，所述頂板滑動安裝在連接座上，連接座上設有用于調節頂板位置的定位螺母。

7.根據權利要求6所述的一種集成式PECVD，其特征在于：所述頂板朝向工作臺的一側設有限位柱，工作臺上沿滑道的長度方向設有多個與限位柱配合的限位槽。