[實用新型]一種光刻膠過濾裝置

有效

• 申請號: 201921950438.0
• 申請日: 2019-11-13
• 公開（公告）號: CN211384121U
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 李永斌
• 申請（專利權）人: 甘肅華隆芯材料科技有限公司
• 主分類號: B01D36/00
• 分類號: B01D36/00;B01D29/05;B01D29/56
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230
• 代理人: 張串串

本實用新型公開了一種光刻膠過濾裝置。所述光刻膠過濾裝置包括：第一過濾罐，所述第一過濾罐的頂端設置有第一進料口，所述第一進料口上設置有閥門，所述第一過濾罐的底部呈倒錐形結構，所述第一過濾罐底部設置有第一出料口，所述第一過濾罐內設置有多層聚丙烯絲網，多層所述聚丙烯絲網從上到下按照之字形排布；以及第二過濾罐，所述第二過濾罐設置于所述第一過濾罐下方，所述第二過濾罐的頂部設置有第二進料口、進氣口和排氣口，所述第二進料口和所述第一出料口連接，所述第二進料口上設置有閥門，所述第二過濾罐的底部呈錐形結構，在所述第二過濾罐的靠近底部的側壁上設置有第二出料口，所述第二過濾罐內設置有精密過濾芯。

技術領域

本實用新型屬于液晶顯示器制造技術領域，具體涉及一種光刻膠過濾裝置。

背景技術

在半導體器件和平板顯示面板制造的光刻工藝中，電路圖形需要在基板表面涂布光刻膠，然后曝光、顯影。現有技術中在基板表面涂布光刻膠的方法通常為離心涂布，具體方法為：將基板平放在涂布臺面上，噴嘴利用均速泵產生的均勻壓力，將光刻膠涂布在基板上，然后通過旋轉單元使得光刻膠在基板上涂布均勻。然而，為了使光刻膠可以均勻地涂布于基板上，通常會先在基板上涂布大量光刻膠，然后旋轉基板使光刻膠均勻涂布，這種涂布方式中大部分的光刻膠都在離心涂布的過程中被排入廢液槽中，造成光刻膠利用率低下。而光刻膠材料又比較昂貴，因此生產成本也會大大增加。由此可見，光刻膠的重復利用是必不可少的，但光刻膠在重復利用前需要進行精密過濾方可使用。而現有的過濾裝置難以滿足其使用要求，因此，需要設計一種光刻膠過濾裝置。

發明內容

實用新型要解決的問題

為了解決現有技術中存在的對使用過的光刻膠過濾困難導致光刻膠難以重復利用的問題，本實用新型提供了一種光刻膠過濾裝置。

用于解決問題的方案

本實用新型提供了一種光刻膠過濾裝置。所述光刻膠過濾裝置包括：

第一過濾罐，所述第一過濾罐的頂端設置有第一進料口，所述第一進料口上設置有閥門，所述第一過濾罐的底部呈倒錐形結構，所述第一過濾罐底部設置有第一出料口，所述第一過濾罐內設置有多層聚丙烯絲網，多層所述聚丙烯絲網從上到下按照Z字形排布；以及

第二過濾罐，所述第二過濾罐設置于所述第一過濾罐下方，所述第二過濾罐的頂部設置有第二進料口、進氣口和排氣口，所述第二進料口和所述第一出料口連接，所述第二進料口上設置有閥門，所述第二過濾罐的底部呈錐形結構，在所述第二過濾罐的靠近底部的側壁上設置有第二出料口，所述第二過濾罐內設置有聚四氟乙烯精密過濾芯。

在以上技術方案中，多層所述聚丙烯絲網從上到下按照Z字形排布，使得待過濾的光刻膠在下落過程中沿傾斜設置的所述聚丙烯絲網流動，延長了光刻膠和所述聚丙烯絲網接觸的時間，有助于過濾操作的進行，同時光刻膠中過濾出的雜質容易聚集在所述聚丙烯絲網和所述第一過濾罐側壁的連接處，減少了所述聚丙烯絲網堵塞的可能，延長了所述聚丙烯絲網的使用時間。所述聚四氟乙烯精密過濾芯是一種以超細聚四氟乙烯纖維濾材為過濾介質的固定孔徑深層過濾芯，濾材符合FDA相關要求，其具有低壓差、高流通量、使用壽命長的特性，并且具有性能穩定和廣泛的化學兼容性。以上兩種過濾芯相互配合，能將光刻膠中的雜質過濾干凈，達到再次使用的要求。

所述第一過濾罐的底部呈倒錐形結構，有助于第一次過濾后的光刻膠排入所述第二過濾罐，減少光刻膠殘留。所述第二過濾罐的底部呈錐形結構，在所述第二過濾罐的靠近底部的側壁上設置有第二出料口，這種結構有助于第二次過濾后的光刻膠排出，便于從所述第二過濾罐側壁接取過濾后的光刻膠。

進一步，根據本實用新型所述的光刻膠涂布裝置，所述聚丙烯絲網與水平面的夾角為10-20°，優選為15-20°。該范圍內傾斜角度的所述聚丙烯絲網，能更好的發揮過濾作用。

進一步，根據本實用新型所述的光刻膠涂布裝置，所述聚丙烯絲網的孔徑為0.5-1mm。