[實用新型]一種具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置

有效

• 申請號: 201921871574.0
• 申請日: 2019-11-01
• 公開（公告）號: CN210607196U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 錢誠;李剛;周興江
• 申請（專利權）人: 江蘇亞電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B3/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本申請涉及一種具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，噴管設置在旋轉架的內部和外部，以使清洗液或者水能夠從兩側向清洗架噴灑，同時清洗架能夠旋轉，旋轉的清洗架能夠使晶圓充分地接收噴管噴出的清洗液或者氣體，使得對晶圓的清洗更加充分干凈。

技術領域

本申請屬于晶圓制備設備技術領域，尤其是涉及一種具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置。

背景技術

生產晶圓的過程中，當生產出了表面平整的晶圓后，晶圓還要進行最終的拋光步驟--化學機械拋光。化學機械拋光是一個化學腐蝕和機械摩擦的結合。晶圓裝在旋轉的拋光頭上，下降到拋光墊的表面以相反的方向旋轉。拋光墊材料通常是有填充物的聚亞安酯鑄件切片或聚氨酯涂層的無紡布。二氧化硅拋光液在適度含氫氧化鉀或氨水的腐蝕液中，滴到拋光墊上。在晶圓腐蝕領域，部分化學品由于其分子結構特殊，具備很高的粘稠性，晶圓從這些粘稠藥液中被拿出后需要迅速進行清洗。而晶圓進行清洗時，通常是放在晶圓存放盒內進行清洗。而晶圓存放盒也會被藥液污染，因而在下一次裝載晶圓前，需要對晶圓存放盒進行清洗。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是：為解決現有技術中的不足，從而提供一種清洗干凈晶圓存放盒的清洗裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，包括：

外殼；

清洗室，設置在外殼內；

開關門機構，設置在清洗室一側的開口處；

熱風機構，設置在外殼頂部，用于為所述清洗室內供給熱風；

清洗機構，設置于清洗室內；

儲液槽，設置于清洗室底部，用于供水和收集清洗廢水；

所述清洗機構包括轉軸，設置在所述轉軸上的能夠跟隨轉軸轉動的旋轉架，設置在旋轉架上的若干垂直布置的清洗架以及豎直方向設置的噴管；

所述清洗架用于放置安放晶圓片的容器，所述清洗架的兩端通過旋轉連接機構與所述旋轉架連接，以使所述清洗架能夠旋轉；

所述轉軸與電機連接，轉軸的頂端和底端均設置有軸承以固定轉軸使轉軸能夠自由轉動，轉軸的頂端具有頂端密封結構，底端具有底端密封結構；

所述噴管設置在旋轉架的內部和外部，以使清洗液或者水能夠從兩側向清洗架噴灑。

優選地，本實用新型的具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，所述噴管共8對，每對2根，其中4對位于旋轉架的內部，4對位于旋轉架的外部，在橫截面上，位于旋轉架內部的每對噴管位于旋轉架外部的兩對噴管之間。

優選地，本實用新型的具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，每根噴管均包括管體和均勻排布在管體上的噴嘴。

優選地，本實用新型的具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，

每對所述噴管中一根噴吹純水，另一根噴吹氮氣；位于旋轉架內部和外部各有4根噴吹純水和4根噴吹氮氣的噴管。

優選地，本實用新型的具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，所述轉軸的頂部與電機連接。

優選地，本實用新型的具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，所述頂端密封結構，從上到下包括，密封片，密封法蘭，上密封環和下密封環，密封片封堵住密封法蘭與轉軸之間的間隙，密封法蘭與轉軸之間設置有軸承，也即密封片、密封法蘭與轉軸之間設置形成容納軸承的空間；上密封環套設在密封法蘭底端外部，所述上密封環和下密封環通過螺釘固定在一起，且上密封環與下密封環形成密閉腔。