[實用新型]一種具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置

有效

• 申請號: 201921871574.0
• 申請日: 2019-11-01
• 公開（公告）號: CN210607196U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 錢誠;李剛;周興江
• 申請（專利權）人: 江蘇亞電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B3/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，其特征在于，包括：

外殼(1)；

清洗室(4)，設置在外殼(1)內；

開關門機構(3)，設置在清洗室(4)一側的開口處；

熱風機構(2)，設置在外殼(1)頂部，用于為所述清洗室(4)內供給熱風；

清洗機構(5)，設置于清洗室(4)內；

儲液槽，設置于清洗室(4)底部，用于供水和收集清洗廢水；

所述清洗機構(5)包括轉軸(51)，設置在所述轉軸(51)上的能夠跟隨轉軸(51)轉動的旋轉架(52)，設置在旋轉架(52)上的若干垂直布置的清洗架(53)以及豎直方向設置的噴管(61)；

所述清洗架(53)用于放置安放晶圓片的容器，所述清洗架(53)的兩端通過旋轉連接機構與所述旋轉架(52)連接，以使所述清洗架(53)能夠旋轉；

所述轉軸(51)與電機(59)連接，轉軸(51)的頂端和底端均設置有軸承以固定轉軸(51)使轉軸(51)能夠自由轉動，轉軸(51)的頂端具有頂端密封結構，底端具有底端密封結構；

所述噴管(61)設置在旋轉架(52)的內部和外部，以使清洗液或者水能夠從兩側向清洗架(53)噴灑。

2.根據權利要求1所述的具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，其特征在于，所述噴管(61)共8對，每對2根，其中4對位于旋轉架(52)的內部，4對位于旋轉架(52)的外部，在橫截面上，位于旋轉架(52)內部的每對噴管(61)位于旋轉架(52)外部的兩對噴管(61)之間。

3.根據權利要求1所述的具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，其特征在于，

每根噴管(61)均包括管體(611)和均勻排布在管體(611)上的噴嘴(612)。

4.根據權利要求2所述的具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，其特征在于，

每對所述噴管(61)中一根噴吹純水，另一根噴吹氮氣；位于旋轉架(52)內部和外部各有4根噴吹純水和4根噴吹氮氣的噴管(61)。

5.根據權利要求1所述的具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，其特征在于，所述轉軸(51)的頂部與電機(59)連接。

6.根據權利要求1所述的具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，其特征在于，所述頂端密封結構，從上到下包括，密封片(541)，密封法蘭(542)，上密封環(543)和下密封環(544)，密封片(541)封堵住密封法蘭(542)與轉軸(51)之間的間隙，密封法蘭(542)與轉軸(51)之間設置有軸承，也即密封片(541)、密封法蘭(542)與轉軸(51)之間設置形成容納軸承的空間；上密封環(543)套設在密封法蘭(542)底端外部，所述上密封環(543)和下密封環(544)通過螺釘固定在一起，且上密封環(543)與下密封環(544)形成密閉腔。

7.根據權利要求6所述的具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，其特征在于，所述上密封環的下表面和下密封環的上表面均設置有位于密閉腔內的環形翅片，所述上密封環(543)的上表面還設置有凸起環(5411)。

8.根據權利要求6所述的具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，其特征在于，所述下密封環(544)與轉軸(51)之間設置有密封圈。

9.根據權利要求1所述的具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，其特征在于，所述底端密封結構，從上到下包括，第一密封套(551)、第二密封套(552)和軸承端蓋(553)，軸承端蓋(553)與轉軸(51)之間具有軸承，第二密封套(552)與轉軸(51)之間設置有密封圈，第二密封套(552)包裹著軸承端蓋(553)，第一密封套(551)密封住第二密封套(552)的頂部。

10.根據權利要求1所述的具有熱風烘干功能的晶圓存放盒清洗裝置，其特征在于，外殼(1)上與開關門機構(3)相對的一側設置有觀察窗(7)。