[實用新型]一種微波等離子發生器

有效

• 申請號: 201921813363.1
• 申請日: 2019-10-25
• 公開（公告）號: CN210609830U
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 徐恒軍;辛傲宇;陸會波
• 申請（專利權）人: 蘇州普洛泰科精密工業有限公司
• 主分類號: H05H1/26
• 分類號: H05H1/26
• 代理公司: 蘇州唯亞智冠知識產權代理有限公司 32289
• 代理人: 李麗

1.一種微波等離子發生器，其特征在于：包括機箱(1)，所述機箱(1)內氣體調節閥(2)、流量閥(3)和高壓閥(4)，三者位于機箱(1)的側邊設置，所述氣體調節閥(2)的輸入端與外置的氣體罐的輸出端相連，所述氣體調節閥(2)的輸出端與流量閥(3)的輸入端相連，所述流量閥(3)的輸出端與高壓閥(4)的輸入端相連，所述高壓閥(4)的輸出端與微波等離子噴頭機構(5)的輸入端相連，所述機箱(1)內還設置有微波發生器(10)，所述微波發生器的輸出端與環形器(6)的輸入端相連，所述環形器(6)通過負載裝置(11)與微波等離子噴頭機構(5)設置，所述機箱(1)內設置有PLC控制單元(7)和信號控制板單元(8)，所述流量閥(3)的信號端與信號控制板單元(8)的輸入端相連，所述信號控制板單元(8)的反饋端與PLC控制單元(7)的輸入端相連，所述PLC控制單元(7)的控制端通過信號控制板單元(8)與高壓閥(4)的受控端相連，所述PLC控制單元(7)的控制端與微波發生器的受控端相連。

2.根據權利要求1所述的一種微波等離子發生器，其特征在于：所述機箱(1)內設置有風扇(9)，位于機箱(1)的側邊固定。

3.根據權利要求1所述的一種微波等離子發生器，其特征在于：所述微波等離子噴頭機構(5)包括殼體(51)，所述殼體(51)的上端設置有進氣接頭(52)，所述進氣接頭(52)通過連通管與噴嘴組件(53)相連通，所述殼體(51)上還設置有電纜接頭(56)，所述電纜接頭(56)與微波電纜線(54)的一端相連，另一端與噴嘴組件(53)相連，所述殼體(51)內設置有點火裝置(55)，所述點火裝置(55)的受控端通過傳輸電纜與PLC控制單元(7)的控制端相連，所述點火裝置(55)的點火端與噴嘴組件(53)相連。

4.根據權利要求3所述的一種微波等離子發生器，其特征在于：所述噴嘴組件(53)包括噴嘴(531)，所述噴嘴(531)內設置有電極(532)，位于中軸處設置，與點火裝置(55)上的放電針相碰觸設置。