[實用新型]一種不等間距舟片的石墨舟

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921777403.1
• 申請日: 2019-10-22
• 公開（公告）號: CN210974868U
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設計）人: 吳寅;何軍
• 申請（專利權）人: 無錫鼎橋新能源科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/50
• 代理公司: 無錫睿升知識產權代理事務所(普通合伙) 32376
• 代理人: 張悅

本實用新型公開了一種不等間距舟片的石墨舟，包括石墨舟本體，所述石墨舟本體包括多個石墨舟片和多個陶瓷桿，多個石墨舟片均活動套設在多個陶瓷桿上，所述石墨舟片的一側開設有兩個第一通孔，多個陶瓷桿中位于兩側的上方的兩個陶瓷桿分別位于對應的第一通孔內，多個陶瓷桿中位于兩側的上方的兩個陶瓷桿相互遠離的一側均開設有第一滑槽，位于同一個石墨舟片上的兩個第一通孔相互遠離的一側內壁上均固定安裝有第一滑塊。本實用新型設計合理，操作方便，便于根據(jù)實際需要對相鄰的兩個石墨舟片之間的間距進行調節(jié)，提高鍍膜的均勻性，避免因氣體或溫度不確定因素的影響造成的鍍膜不均勻的現(xiàn)象，滿足使用需求。

技術領域

本實用新型涉及石墨舟技術領域，尤其涉及一種不等間距舟片的石墨舟。

背景技術

目前在太陽能電池的生產工藝過程中,通常采用管式PECVD進行太陽能電池的鍍膜，進行鍍膜時，電池片鍍膜時的載具通常為石墨舟，現(xiàn)有的石墨舟主要由多個石墨舟片和多個陶瓷桿組成，在鍍膜時,石墨舟片間接入射頻電源，硅片作為電極的一部分。

但是現(xiàn)有的石墨舟上相鄰的兩個石墨舟片之間的間距不便于根據(jù)實際需要進行調節(jié)，石墨舟片之間的距離都是等間距，且固定設置的，所以其中的電場強度一致，但是由于反應氣體分布、溫度等一些不確定因素的影響,在電場強度一致的情況下，容易造成在鍍膜結束后，石墨舟外側的膜厚往往較厚,影響了整舟的鍍膜均勻性，不能滿足使用需求，因此我們提出了一種不等間距舟片的石墨舟用于解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術中存在的缺點，而提出的一種不等間距舟片的石墨舟。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種不等間距舟片的石墨舟，包括石墨舟本體，所述石墨舟本體包括多個石墨舟片和多個陶瓷桿，多個石墨舟片均活動套設在多個陶瓷桿上，所述石墨舟片的一側開設有兩個第一通孔，多個陶瓷桿中位于兩側的上方的兩個陶瓷桿分別位于對應的第一通孔內，多個陶瓷桿中位于兩側的上方的兩個陶瓷桿相互遠離的一側均開設有第一滑槽，位于同一個石墨舟片上的兩個第一通孔相互遠離的一側內壁上均固定安裝有第一滑塊，第一滑塊與對應的第一滑槽滑動連接，石墨舟片的一側開設有兩個矩形槽，位于同一個石墨舟片上的兩個第一通孔位于對應的兩個矩形槽之間，矩形槽的兩側內壁之間固定安裝有兩個定位桿，位于同一個矩形槽內的兩個定位桿上滑動套設有同一個移動桿，移動桿靠近對應的陶瓷桿的一側固定連接有螺桿，位于同一個石墨舟片上的兩個螺桿的螺紋旋向相反，螺桿上螺紋套設有轉動安裝在對應的矩形槽一側內壁上的旋鈕，旋鈕的頂部延伸至對應的石墨舟片的上方，螺桿遠離對應的移動桿的一端延伸至對應的第一滑槽內并與第一滑槽遠離其開口的一側內壁緊密接觸，螺桿遠離對應的移動桿的一端設為錐形結構，所述第一滑塊套設在對應的螺桿上，位于兩側的上方的兩個陶瓷桿相互靠近的一側均開設有第二滑槽，位于同一個石墨舟片上的兩個第一通孔相互靠近的一側內壁上均固定安裝有第二滑塊，第二滑塊與對應的第二滑槽滑動連接。

優(yōu)選的，所述旋鈕的一側開設有螺紋孔，螺紋孔與對應的螺桿螺紋連接。

優(yōu)選的，所述第一滑塊的一側開設有第一通孔，螺桿位于對應的第一通孔內，第一通孔的側壁與對應的螺桿的外側不接觸。

優(yōu)選的，所述移動桿的一側開設有兩個矩形孔，矩形孔的側壁與對應的定位桿的外側滑動連接。

優(yōu)選的，所述第一滑塊的頂部和底部分別與對應的第一滑槽的頂部內壁和底部內壁滑動連接。

優(yōu)選的，所述第二滑塊的頂部和底部分別與對應的第二滑槽的頂部內壁和底部內壁滑動連接。

優(yōu)選的，所述矩形槽的一側內壁上開設有圓環(huán)形滑槽，旋鈕的一側固定安裝有圓環(huán)形滑軌，圓環(huán)形滑槽與對應的圓環(huán)形滑軌滑動連接。

優(yōu)選的，所述矩形槽的頂部內壁上開設有第二通孔，旋鈕位于對應的第二通孔內，第二通孔的側壁與對應的旋鈕的外側不接觸。