[實(shí)用新型]等離子清洗機(jī)的清洗腔體結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921741572.X
• 申請(qǐng)日: 2019-10-17
• 公開（公告）號(hào): CN210701513U
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張春輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇勝輝半導(dǎo)體設(shè)備有限公司;張春輝
• 主分類號(hào): B08B7/00
• 分類號(hào): B08B7/00
• 代理公司: 北京酷愛智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11514
• 代理人: 陳巍

1.一種等離子清洗機(jī)的清洗腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

腔體下蓋，所述下蓋腔體的底部設(shè)有第一玻璃板，所述第一玻璃板的四個(gè)角設(shè)置有絕緣座，所述絕緣座的上側(cè)設(shè)有第二玻璃板，所述第二玻璃板的四個(gè)角支撐于所述絕緣座上；

電極框架，所述電極框架安裝于所述第二玻璃板上，電極框架通過導(dǎo)線與射頻電源的陽極相連；

腔體上蓋，所述腔體上蓋蓋合在所述腔體下蓋上，腔體上蓋與腔體下蓋之間形成密封腔體；

以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述腔體上蓋與腔體下蓋打開或蓋合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子清洗機(jī)的清洗腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括陶瓷管，所述第一玻璃板上設(shè)有第一通孔，第二玻璃板上設(shè)有第二通孔，所述陶瓷管穿插于第一通孔和第二通孔內(nèi)，所述導(dǎo)線經(jīng)陶瓷管穿入密封腔體。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的等離子清洗機(jī)的清洗腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一玻璃板和第二玻璃板之間設(shè)置有第三玻璃板，所述第三玻璃板分別與第一玻璃板和第二玻璃板貼合，第三玻璃板上設(shè)有第三通孔，所述陶瓷管穿過第三通孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子清洗機(jī)的清洗腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述腔體下蓋后部的下部連接有擋板，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)伸縮推桿，所述伸縮推桿的下端固定于所述擋板的外側(cè)，伸縮推桿的上端固定連接于所述腔體上蓋的后部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的等離子清洗機(jī)的清洗腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述伸縮推桿的上端固定連接有上蓋安裝座，所述腔體上蓋轉(zhuǎn)動(dòng)安裝于所述上蓋安裝座，上蓋安裝座上設(shè)置有用于將腔體上蓋與上蓋安裝座鎖死的鎖定機(jī)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的等離子清洗機(jī)的清洗腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述腔體上蓋后部的兩側(cè)分別設(shè)置有連接板，所述連接板的后端轉(zhuǎn)動(dòng)連接于上蓋安裝座，所述鎖定機(jī)構(gòu)包括鎖定片和鎖銷，所述鎖定片貼近連接板并固定于所述上蓋安裝座上，所述鎖銷可穿過連接板和鎖定片，用以將腔體上蓋與上蓋安裝座鎖死。

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的等離子清洗機(jī)的清洗腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述腔體上蓋的前側(cè)設(shè)置有把手。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子清洗機(jī)的清洗腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述腔體上蓋的前側(cè)設(shè)置有透明觀察口。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子清洗機(jī)的清洗腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述腔體下蓋周圍的上側(cè)設(shè)置有O型密封圈，腔體下蓋與腔體上蓋之間通過所述O型密封圈密封。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子清洗機(jī)的清洗腔體結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述電極框架包括固定框架和軌道框架，所述固定框架固定安裝于所述第二玻璃板上，所述軌道框架通過螺絲固定于所述固定框架上。