有效
| 申請號: | 201921706495.4 | 申請日: | 2019-10-12 |
| 公開(公告)號: | CN210805722U | 公開(公告)日: | 2020-06-19 |
| 發明(設計)人: | 暢家盛 | 申請(專利權)人: | 連云港國倫石英制品有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 連云港聯創專利代理事務所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 杜麗麗 |
| 地址: | 222000 江蘇省連云*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石英 托盤 | ||
1.一種石英舟托盤,其特征在于,包括模座(1),所述模座(1)的上端設有卡槽(2),所述卡槽(2)的下端中部設有第一通孔(3),所述卡槽(2)的內部卡接有模板(4),所述模板(4)的外側壁和卡槽(2)的內側壁相接觸,所述模板(4)的下端中部固定連接有第二螺桿(10),所述第二螺桿(10)的外側壁下端套設有緊固環(11),所述緊固環(11)螺紋連接在第二螺桿(10)上,所述緊固環(11)的上端和模座(1)的下端相接觸,所述模板(4)的上端兩側均設有若干放置槽(5),所述放置槽(5)下端中部均設有第二通孔(6),所述模板(4)的內部設有腔體(7),所述腔體(7)的內部設有擠出機構(8),所述腔體(7)上端中部的內側壁和模板(4)上端中部的外側壁之間固定連接有軸承(12),所述模座(1)的下端固定連接有安裝機構(9)。
2.根據權利要求1所述的一種石英舟托盤,其特征在于,所述擠出機構(8)包括升降板(81),所述升降板(81)的外側壁和腔體(7)的內側壁相接觸,所述升降板(81)的上端中部插設有第一螺桿(82),所述第一螺桿(82)螺紋連接在升降板(81)上,所述第一螺桿(82)的上端穿過軸承(12)且延伸至模板(4)的外部上端,所述第一螺桿(82)的外側壁和軸承(12)內環的內側壁固定連接,所述第一螺桿(82)位于模板(4)外部的一端固定連接有手輪(83),所述升降板(81)的上端兩側均固定連接有若干擠壓桿(85),同側所述擠壓桿(85)的數量和放置槽(5)以及第二通孔(6)的數量相同且一一對應。
3.根據權利要求2所述的一種石英舟托盤,其特征在于,所述第一螺桿(82)的下端穿過升降板(81)的上端且延伸至升降板(81)的下端,所述第一螺桿(82)位于升降板(81)下端的一端轉動連接有轉動載盤(84),所述轉動載盤(84)的下端和腔體(7)的內部下端固定連接。
4.根據權利要求2所述的一種石英舟托盤,其特征在于,所述擠壓桿(85)的直徑均比對應的第二通孔(6)的直徑小且均位于同一條中心線上,所述擠壓桿(85)的上端均穿過對應的第二通孔(6)且均延伸至對應的放置槽(5)內部,所述擠壓桿(85)位于放置槽(5)內部的一端均固定連接有頂板(86)。
5.根據權利要求1所述的一種石英舟托盤,其特征在于,所述安裝機構(9)包括安裝架(91),所述安裝架(91)的上端固定連接模座(1)上,所述安裝架(91)的兩側均固定連接有支板(92),所述支板(92)的下端均通過轉軸(93)轉動連接有滾輪(94),所述滾輪(94)下端和模座(1)下端之間的距離比安裝架(91)下端中部和模座(1)下端之間的距離大。
6.根據權利要求1所述的一種石英舟托盤,其特征在于,所述第二螺桿(10)和第一通孔(3)位于同一條中心線上,所述第二螺桿(10)的直徑比第一通孔(3)的直徑小,所述第二螺桿(10)的下端穿過第一通孔(3)且延伸至模座(1)的外部下端。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





