[實用新型]一種用于原位掃描電鏡測試的載物儀

有效

• 申請號: 201921668414.6
• 申請日: 2019-09-29
• 公開（公告）號: CN210953877U
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發明（設計）人: 王紅強;顧啟浩;吳強;李慶余;潘齊常;鄭鋒華;呂丁嬌;韓金路
• 申請（專利權）人: 廣西師范大學
• 主分類號: G01N23/2204
• 分類號: G01N23/2204;G01N23/2251;H01J37/20
• 代理公司: 南寧新途專利代理事務所(普通合伙) 45119
• 代理人: 但玉梅

1.一種用于原位掃描電鏡測試的載物儀，其特征在于：包括艙體、第一密封圈、載物臺、蓋板、細繩、抽氣部、密封蓋、電池、控制器、電機和遙控器；所述艙體呈階梯狀，包括第一階梯、第二階梯和第三階梯，所述第一階梯、第二階梯和第三階梯均為長方體狀，所述第二階梯的前側面與所述第一階梯的后側面重合，所述第二階梯的后側面與所述第三階梯的前側面重合；所述第一階梯的上表面往所述第一階梯的高度方向開有軸線重合的第一圓槽和第二圓槽，所述第一圓槽直徑大于所述第二圓槽直徑，所述第二圓槽深度大于所述第一圓槽深度，所述第一密封圈固定安裝在所述第一圓槽的底面；所述第一階梯的前側面有圓臺，所述圓臺軸線方向有通腔，所述通腔與所述第二圓槽連通，所述抽氣部與所述圓臺氣密連接，所述抽氣部可以在抽真空操作后封閉所述通腔在圓臺的一端；所述載物臺放置在所述第二圓槽內，所述載物臺高度小于所述第二圓槽深度，所述蓋板放置在所述第一密封圈上方，所述蓋板與所述密封圈貼合，所述抽氣部封閉后，所述蓋板與所述密封圈能保證所述第一階梯內部腔體的氣密密封；所述第二階梯的左側面或右側面往所述第二階梯寬度方向開有第三圓槽，所述電池安裝在所述第三圓槽內，所述第三圓槽從起始開孔面往內有第一螺紋，所述密封蓋有第二螺紋，所述第一螺紋和所述第二螺紋配合，擰緊所述密封蓋能夠氣密密封所述第三圓槽；所述第三圓槽和所述密封蓋內安裝有導線，所述導線將電池正負極引出第二臺階外部；所述電機固定安裝在第三臺階上表面，所述電機殼外轉軸上固定安裝有繞線器，所述細繩兩端分別連接所述蓋板和所述繞線器；所述遙控器包括電池和無線信號輸出模塊；所述控制器包括無線信號接收模塊和電機控制模塊，所述電池、無線信號接收模塊和電機控制模塊形成并聯電路，所述電機與所述控制模塊連接。

2.根據權利要求1所述的一種用于原位掃描電鏡測試的載物儀，其特征在于：所述第二階梯在所述第一階梯和所述第三階梯中間位置，所述第二階梯的左側面、右側面和下底面分別與另兩個階梯的左側面、右側面和下底面對應在同一平面上。

3.根據權利要求1所述的一種用于原位掃描電鏡測試的載物儀，其特征在于：所述蓋板為長方體狀，所述第一階梯上表面有凸起和兩個大小形狀一致，方向正對的限位卡扣，兩所述限位卡扣之間的距離等于或略大于所述蓋板的寬度，兩所述限位卡扣限制所述蓋板水平方向只能沿所述艙體長度方向運動，高度方向的活動范圍不接觸電鏡探頭；所述凸起高度大于所述第一密封圈高出所述第一階梯上表面的高度；所述蓋板與所述第一密封圈氣密閉合時，其一邊與所述凸起接觸，但不被所述凸起抬起。

4.根據權利要求1所述的一種用于原位掃描電鏡測試的載物儀，其特征在于：所述第一圓槽底面豎直方向截面為半圓形，所述第一圓槽底面與所述第一密封圈表面貼合。

5.根據權利要求1所述的一種用于原位掃描電鏡測試的載物儀，其特征在于：所述控制器還包括塑料外殼，所述無線信號接收模塊和電機控制模塊安裝在所述塑料外殼內。

6.根據權利要求1所述的一種用于原位掃描電鏡測試的載物儀，其特征在于：所述密封蓋上有一字槽或十字槽。

7.根據權利要求1所述的一種用于原位掃描電鏡測試的載物儀，其特征在于：還包括第二密封圈，所述第二密封圈套接在所述密封蓋上。

8.根據權利要求1所述的一種用于原位掃描電鏡測試的載物儀，其特征在于：所述載物臺為直徑小于所述第二圓槽直徑的圓柱體。

9.根據權利要求1所述的一種用于原位掃描電鏡測試的載物儀，其特征在于：所述抽氣部包括單向閥和軟管，所述軟管兩端分別與所述圓臺和所述單向閥氣密連接。

10.根據權利要求1所述的一種用于原位掃描電鏡測試的載物儀，其特征在于：所述通腔在所述第一階梯內繞行340°后再與所述第二圓槽連通。