[實用新型]一種超純水制備系統

有效

• 申請號: 201921661729.8
• 申請日: 2019-09-30
• 公開（公告）號: CN211339139U
• 公開（公告）日: 2020-08-25
• 發明（設計）人: 徐金祥;張胤
• 申請（專利權）人: 重慶博創水處理設備有限公司
• 主分類號: C02F9/08
• 分類號: C02F9/08;C02F103/04
• 代理公司: 重慶創新專利商標代理有限公司 50125
• 代理人: 李智祥

本實用新型公開了一種超純水制備系統包括自來水進水管，原水泵、一級高壓泵、二級高壓泵、純水輸送泵和清洗水泵提供本系統的運轉動力，自來水經多介質過濾器、活性炭過濾器、軟水器、保安過濾器、一級反滲透組件、EDI裝置和紫外線殺菌器的過濾、殺菌，鹽箱和酸堿度調節器對自來水進行硬度和酸堿度調節，所制作出的超純水的電阻率≥15MΩ.cm@25℃，可以用于一般實驗室用水、色譜、液相等使用，觸摸屏中央控制裝置對整個系統進行全自動控制，亦可實現自動與手動之間的切換；配備自動控制器，定期進行自我清洗、反洗、運行的切換，無需人工介入；設計采用標準化、通用化零部件，便于拆裝、更換、清洗。

技術領域

本發明涉及水處理技術領域，尤其涉及一種超純水制備系統。

背景技術

超純水常用于集成電路工業中，用于半導體原材料的清洗，光刻掩膜版的制備，同時超純水也是實驗室中使用最多的物質，在儀器分析，高純分析及配制化學試劑過程中，所使用的水的純度非常重要，水中多余離子和可溶性有機物及雜質會對實驗分析造成干擾，導致檢測結果不準確，無法得到理想的實驗結果。目前，大多數的實驗室都存在實驗用水制取困難且成本高，而傳統的制水方法往往無法徹底的去除水中的多余離子，無法完全滿足實驗用水的需求。

因此本領域技術人員致力于開發一種電阻率接近理論值超純水的超純水制備系統。

發明內容

有鑒于現有技術的上述缺陷，本發明所要解決的技術問題是提供一種水質效果好的超純水制備系統。

為實現上述目的，本發明提供了一種超純水制備系統，包括自來水進水管，所述自來水進水管由前至后依次通過水管串聯連接有原水泵、多介質過濾器、活性炭過濾器、軟水器、保安過濾器、一級高壓泵、一級反滲透組件、二級高壓泵、二級反滲透組件、EDI裝置、純水箱、純水輸送泵、紫外線殺菌器和取水裝置；所述軟水器連接有鹽箱；所述二級高壓泵的入口還連接有酸堿度調節器；所述取水裝置設置有與所述純水箱連接的第一回水管；所述保安過濾器的入口和所述一級反滲透組件的出口之間還并聯連接有CIP清洗裝置，所述CIP清洗裝置包括依次通過水管串聯連接的清洗水箱、清洗水泵和清洗過濾器，所述清洗水箱的入口與所述一級反滲透組件的出口連接，所述清洗過濾器的出口與所述保安過濾器的入口連接。

所述多介質過濾器設置有第一過濾控制器，所述活性炭過濾器設置有第二過濾控制器，所述保安過濾器的出口與所述一級高壓泵的入口之間并聯有一第一壓力監測器，所述一級反滲透組件的出口連接有第一電導率儀，所述二級高壓泵的入口連接有第二壓力監測器，所述二級反滲透組件的出口連接有第二電導率儀，所述EDI裝置設置有設置兩個出口，一個出口連接一電阻率儀后與所述純水箱連接，另一個出口連接有連接一電子流量開關后接地，所述純水箱設置有第一電子液位計，所述純水輸送泵的出口連接有第三壓力監測器，所述清洗水箱設置有第二電子液位計，所述軟水器的出口與所述保安過濾器之間還設置有一第一電磁閥連接，所述二級高壓泵的出口連接有酸堿度傳感器；所述原水泵、第一過濾控制器、第二過濾控制器、第一電磁閥、第一壓力監測器、一級高壓泵、第一電導率儀、第二壓力監測器、二級高壓泵、酸堿度調節器、酸堿度傳感器、第二電導率儀、EDI裝置、電阻率儀、電子流量開關、第一電子液位計、純水輸送泵、第三壓力監測器、紫外線殺菌器、清洗水泵和第二電子液位計均電連接一觸摸屏中央控制裝置。

所述自來水進水管和所述原水泵的入口之間設置有第一手動閥和第一壓力表。

所述原水泵的出口與所述多介質過濾器的入口之間由前至后依次設置有第一單向閥和第二手動閥。

所述多介質過濾器設置有兩個出口，一個出口與所述活性炭過濾器的入口連接，另一個出口連接一第二十六手動閥后連接有第一接地槽。

所述活性炭過濾器連接有第二接地槽，所述軟水器連接有第三接地槽，所述鹽箱連接有第四接地槽，所述活性炭過濾器的出口連接有第二壓力表，所述軟水器的出口連接有第三壓力表。