[實(shí)用新型]一種高精度半導(dǎo)體集成電路檢測(cè)設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921639474.5
• 申請(qǐng)日: 2019-09-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211180091U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡松明
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市中微數(shù)控技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/28
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/28
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種高精度半導(dǎo)體集成電路檢測(cè)設(shè)備，主要包括底板(1)、氣缸(3)、分割板(4)、伸縮缸(6)、直線模組(7)、插頭(21)、插頭座(22)和夾座，其特征在于，所述底板(1)頂端中部裝配安裝有分割板(4)，所述底板(1)頂端位于分割板(4)中部裝配安裝有水平向右的氣缸(3)，所述底板(1)頂端右部固定安裝有安裝有與氣缸(3)配合的廢料框(2)，廢料框(2)頂端位于分割板(4)底端側(cè)壁下方，所述底板(1)頂端位于分割板(4)左側(cè)和后側(cè)固定安裝有直線模組(7)，直線模組(7)頂端裝配安裝有伸縮缸(6)，伸縮缸(6)的伸縮端裝配安裝有插頭座(22)，插頭座(22)端部插接安裝有插頭(21)，所述底板(1)頂端前部固定安裝有控制主機(jī)(5)，所述分割板(4)頂端固定安裝有對(duì)稱(chēng)設(shè)置的夾座。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度半導(dǎo)體集成電路檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述夾座主要包括滑架(8)、導(dǎo)框(9)、滑塊(10)、旋桿(11)、轉(zhuǎn)接座(12)、蝸桿(13)和絲桿(15)，所述導(dǎo)框(9)底端側(cè)壁固定連接分割板(4)頂端側(cè)壁，所述轉(zhuǎn)接座(12)底端側(cè)壁固定連接分割板(4)頂端側(cè)壁，所述導(dǎo)框(9)內(nèi)側(cè)滑動(dòng)安裝有對(duì)稱(chēng)設(shè)置的滑銷(xiāo)(17)，滑銷(xiāo)(17)頂端固定安裝有對(duì)稱(chēng)設(shè)置的滑架(8)，滑架(8)中部開(kāi)設(shè)有開(kāi)口向上的滑槽，所述滑架(8)位于滑槽位置滑動(dòng)安裝有壓座(18)，壓座(18)頂端中部旋接安裝有旋桿(11)，旋桿(11)中部套設(shè)安裝有滑塊(10)，滑塊(10)靠近滑架(8)側(cè)壁一端固定安裝有抵塊(20)，抵塊(20)前側(cè)和滑塊(10)靠近滑架(8)一側(cè)外壁之間固定安裝有膠片(19)，所述滑架(8)上部邊緣處開(kāi)設(shè)有與抵塊(20)配合的凹槽，所述滑架(8)頂端刻設(shè)有與滑塊(10)配合的刻度線，所述滑架(8)底端前部固定安裝有絲桿套(16)，絲桿套(16)中貫穿安裝有絲桿(15)，絲桿(15)兩端轉(zhuǎn)動(dòng)連接轉(zhuǎn)接座(12)左右內(nèi)壁，所述絲桿(15)中部外壁固定安裝有蝸齒套(14)，所述轉(zhuǎn)接座(12)內(nèi)側(cè)中部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有蝸桿(13)，蝸桿(13)與蝸齒套(14)嚙合連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度半導(dǎo)體集成電路檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述分割板(4)采用外接伺服電機(jī)配合四等分式分割器進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度半導(dǎo)體集成電路檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述氣缸(3)通過(guò)氣管與外部供氣設(shè)備電性連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度半導(dǎo)體集成電路檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述控制主機(jī)(5)通過(guò)線束與氣缸(3)、外接伺服電機(jī)、伸縮缸(6)、直線模組(7)和插頭座(22)分別電性連接，所述控制主機(jī)(5)與外部電源電性連接。