[實用新型]鋁蝕刻液生產設備

有效

• 申請號: 201921639400.1
• 申請日: 2019-09-29
• 公開（公告）號: CN210736177U
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 童晨
• 申請（專利權）人: 昆山晶科微電子材料有限公司
• 主分類號: B67C3/26
• 分類號: B67C3/26;B67C3/28;B67C3/22
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.鋁蝕刻液生產設備，其特征在于，包括混合罐、過濾器、數個儲存罐、數輛液壓升降式拖車和地磅，所述混合罐通過液管與所述過濾器連接，所述過濾器的出液口處安裝有氣動升降式出液管，每個所述儲存罐固定在對應的拖車頂部，所述儲存罐的進液口和出液口處安裝有單向液動閥，所述地磅位于所述過濾器的下方，所述地磅的頂部設置有將所述拖車固定的氣動夾緊機構。

2.根據權利要求1所述的鋁蝕刻液生產設備，其特征在于，所述地磅的頂部平臺中設置有兩條卡塊，所述卡塊與平臺之間形成一插槽；所述氣動夾緊機構包括氣缸和壓緊塊，所述壓緊塊位于所述插槽中，所述氣缸的伸縮桿與所述壓緊塊固連。

3.根據權利要求1所述的鋁蝕刻液生產設備，其特征在于，所述拖車的頂部設置有一圈圍設在所述儲存罐外部的護欄。

4.根據權利要求1所述的鋁蝕刻液生產設備，其特征在于，所述拖車的頂部設置有一集液盒，所述儲存罐安裝在所述集液盒中。

5.根據權利要求1所述的鋁蝕刻液生產設備，其特征在于，所述拖車的頂部于所述儲存罐的旁側設置有集液腔室。