[實用新型]具有屏蔽功能的載物臺

有效

• 申請號: 201921618169.8
• 申請日: 2019-09-26
• 公開（公告）號: CN211086403U
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發明（設計）人: 張躍宗
• 申請（專利權）人: 深圳信息職業技術學院
• 主分類號: G01R1/18
• 分類號: G01R1/18;G01R1/04;G01R31/28
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 羅曉林

本實用新型具有屏蔽功能的載物臺包括基座，所述基座上表面設置若干固定部，所述基座下表面設有一鍍金層，所述基座側面周圍設有電磁屏蔽層，所述電磁屏蔽層的厚度大于鍍金層的厚度；本實用新型通過在載物臺基座下表面設置鍍金層，并在基座側面周圍設有電磁屏蔽層，最大限度地消除了周圍磁場或電磁波的干擾，提高了檢測精度，本實用新型結構簡單實用，在檢測領域具有廣泛的用途。

技術領域

本實用新型涉及半導體檢測技術領域，特別是涉及一種具有屏蔽功能的載物臺。

背景技術

隨著科技的進步，集成電路的應用非常廣泛，且應用的產品或芯片體積越來越小，對于芯片的電路部分或表面部分進行必要的檢測是必不可少的步驟。在檢測芯片的各項性能時需要通過專業的檢測儀器進行檢測，通常將芯片放置在檢測儀器的載物臺上進行檢測。但是，目前的載物臺大都沒考慮外界電場的影響，例如周圍電磁波或者被測樣品本身線路的干擾，這種情況下，測試精度不高。因此，如何將防止電磁干擾并提高測試精度是目前亟需解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于克服現有技術的以上缺點和不足，提供一種固定良好的具有屏蔽功能的載物臺。

一種具有屏蔽功能的載物臺包括：基座，所述基座上表面設置若干固定部，所述基座下表面設有一鍍金層，所述基座側面周圍設有電磁屏蔽層，所述電磁屏蔽層的厚度大于鍍金層的厚度。

在其中一個實施例中，所述電磁屏蔽層的材質為導電橡膠、高磁導率材料、低電阻金屬或有機導電材料中的一種。

在其中一個實施例中，所述電磁屏蔽層包括高磁導率材料層與低電阻金屬層，所述高磁導率材料層位于低電阻金屬層與基座之間。

在其中一個實施例中，所述高磁導率材料層的材質為硅鋼片，所述低電阻金屬層的材質為鋁材。

在其中一個實施例中，所述基座中部設置有中空部，所述固定部向下延伸形成設有若干通孔，所述通孔與所述中空部連通，所述基座的一側設置有連接孔，所述連接孔與所述中空部連通。

在其中一個實施例中，所述基座為圓柱形，所述基座上表面設有若干圓形槽，所述圓形槽的圓心與基座的圓心相重合，所述通孔以圓形陣列方式分布在所述圓形槽的槽底，所述圓形槽界定出所述固定部。

在其中一個實施例中，所述圓形槽包括第一圓形槽和第二圓形槽，所述第二圓形槽的周長大于第一圓形槽的周長，所述第一圓形槽界定出第一固定部，所述第二圓形槽界定出第二固定部，所述第二固定部包含第一固定部。

在其中一個實施例中，所述第一圓形槽槽底的通孔為第一通孔，所述第二圓形槽槽底的通孔為第二通孔，所述第一通孔的周長大于第二通孔的周長。

在其中一個實施例中，所述基座的上表面設有定位部。

在其中一個實施例中，所述基座上表面的外緣設置有固定臺。

本實用新型具有屏蔽功能的載物臺包括基座，所述基座上表面設置若干固定部，所述基座下表面設有一鍍金層，所述基座側面周圍設有電磁屏蔽層，所述電磁屏蔽層的厚度大于鍍金層的厚度；本實用新型通過在具有屏蔽功能的載物臺基座下表面設置鍍金層，并在基座側面周圍設有電磁屏蔽層，最大限度地消除了周圍磁場或電磁波的干擾，提高了檢測精度，本實用新型結構簡單實用，在檢測領域具有廣泛的用途。

附圖說明

圖1為本實用新型具有屏蔽功能的載物臺的結構示意圖；

圖2為圖1所示具有屏蔽功能的載物臺的剖視圖。

具體實施方式