[實用新型]一種爐體溫度可調的冷壁單晶爐

有效

• 申請號: 201921569220.0
• 申請日: 2019-09-20
• 公開（公告）號: CN210620996U
• 公開（公告）日: 2020-05-26
• 發明（設計）人: 柴曉磊;高佑君;樊海強
• 申請（專利權）人: 山西中科晶電信息材料有限公司
• 主分類號: C30B29/42
• 分類號: C30B29/42;C30B11/00
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 申紹中

1.一種爐體溫度可調的冷壁單晶爐，其特征在于：包括晶體生長裝置與恒溫冷壁爐，所述晶體生長裝置設置在恒溫冷壁爐內；所述晶體生長裝置包括PBN坩堝（1）、石英管（2）、加熱器（3），所述PBN坩堝（1）固定在石英管（2）內，所述石英管（2）內設置有石英帽（4），石英管（2）放置在爐芯（5）上，爐芯內設置有玻璃棒（6）；所述晶體生長裝置外設置有保溫裝置（7），所述保溫裝置（7）為下部開口的中空筒狀結構，所述保溫裝置（7）內壁鑲嵌有加熱器（3）；所述恒溫冷壁爐包括頂壁（8）、側壁（9）與底壁（10），所述頂壁（8）、側壁（9）與底壁（10）在關閉時通過橡膠條密閉；所述頂壁（8）、側壁（9）與底壁（10）為中空結構，內部分別設置有冷卻介質，所述冷卻介質溫度、流量可通過外界控制。

2.根據權利要求1所述的一種爐體溫度可調的冷壁單晶爐，其特征在于：所述加熱器（3）設置為六組。

3.根據權利要求1或2所述的一種爐體溫度可調的冷壁單晶爐，其特征在于：所述加熱器（3）溫度分別獨立運作。

4.根據權利要求1所述的一種爐體溫度可調的冷壁單晶爐，其特征在于：所述恒溫冷壁爐還設置有氣壓控制系統，所述氣壓控制系統包括進氣閥（11）、出氣閥（12）和氣壓控制裝置。

5.根據權利要求1所述的一種爐體溫度可調的冷壁單晶爐，其特征在于：所述頂壁（8）、側壁（9）與底壁（10）中冷卻介質溫度、流量分別獨立控制。

6.根據權利要求1所述的一種爐體溫度可調的冷壁單晶爐，其特征在于：所述側壁（9）設置為1-3組，多組側壁（9）上下疊加，相鄰側壁（9）固定連接。

7.根據權利要求1所述的一種爐體溫度可調的冷壁單晶爐，其特征在于：所述側壁（9）中冷卻介質溫度、流量分別獨立控制。