[發(fā)明專利]一種旋轉(zhuǎn)運動式EBSD測試試樣自動電解拋光裝置和方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010499356.X
• 申請日: 2020-06-04
• 公開（公告）號: CN111551573A
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉覲;范眾維;孟利
• 申請（專利權(quán)）人: 江西省科學(xué)院應(yīng)用物理研究所
• 主分類號: G01N23/20008
• 分類號: G01N23/20008;G01N23/203;G01N1/32;C25F3/16;C25F7/00
• 代理公司: 南昌市平凡知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 36122
• 代理人: 姚伯川

1.一種旋轉(zhuǎn)運動式EBSD測試試樣電解拋光裝置，其特征在于，所述裝置包括可升降懸臂帶定位錐支座、半球內(nèi)底面電解拋光槽、人字形夾具、調(diào)位卡盤及電機；

所述可升降懸臂帶定位錐支座為“匚”型結(jié)構(gòu)，懸臂上方放置電機，并從上至下依次通過絕緣連接桿和金屬連接桿與調(diào)位卡盤中心相連；調(diào)位卡盤下方安置人字形夾具，用于夾持電解拋光試樣；下水平臂為帶定位錐支座，用于放置半球內(nèi)底面電解拋光槽；所述半球內(nèi)底面電解拋光槽其內(nèi)放置電解拋光液；

所述裝置在所述半球內(nèi)底面電解拋光槽正常工作時，電解拋光試樣能沿水平面在保持旋轉(zhuǎn)運動的狀態(tài)下，同時保持恒電壓、恒電流狀態(tài)下電解拋光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)運動式EBSD測試試樣電解拋光裝置，其特征在于，所述可升降懸臂帶定位錐支座垂直臂上安裝有一電刷支持桿，電刷支持桿一端為正極接線柱，另一端通過電刷連通金屬連接桿；垂直臂下端安裝升降旋鈕，用于調(diào)節(jié)懸臂升降，控制試樣浸入電解液的深度；下水平臂支座上設(shè)置定位錐，用以確保半球形內(nèi)底面拋光槽的球心快速準(zhǔn)確定位于調(diào)位卡盤中心的正下方。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)運動式EBSD測試試樣電解拋光裝置，其特征在于，所述半球內(nèi)底面電解拋光槽，為導(dǎo)電性、耐腐蝕性良好，內(nèi)底面形狀為半球形、周邊為垂直壁的金屬杯；拋光槽上端設(shè)置負極接線柱，底部中心位置設(shè)置定位凹槽。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)運動式EBSD測試試樣電解拋光裝置，其特征在于，所述調(diào)位卡盤為圓盤結(jié)構(gòu)，卡盤直徑方向上開有一槽，便于安裝人字形夾具，亦可調(diào)節(jié)人字形夾具在槽上的安放位置，輔助調(diào)節(jié)試樣旋轉(zhuǎn)速度；所述調(diào)位卡盤的中心有安裝孔，金屬連接桿端部插入孔內(nèi)，通過螺母將調(diào)位卡盤安裝固定在金屬連接桿上。

5.由權(quán)利要求1~4所述測試試樣電解拋光裝置實現(xiàn)的一種旋轉(zhuǎn)運動式EBSD測試試樣電解拋光方法，其特征在于，所述方法步驟如下：

（1）試樣打磨：采用EBSD測試試樣常規(guī)打磨方式進行打磨；

（2）試樣安裝：將試樣待測面朝下，水平固定在人字形夾具末端，人字形夾具固定在調(diào)位卡盤的卡槽上；穩(wěn)壓直流電源陽極與正極接線柱相連接，經(jīng)電刷支持桿、電刷、金屬連接桿、調(diào)位卡盤、人字形夾具構(gòu)成電路，使試樣成為陽極末端；穩(wěn)壓直流電源陰極與負極接線柱連接，使金屬電解拋光槽成為陰極末端；

（3）電解拋光液配置：將電解拋光液倒入半球內(nèi)底面電解拋光槽，液面高度不高于半球形內(nèi)底面與直壁內(nèi)側(cè)面的交界線；

（4）電解拋光：啟動電機，試樣在電機和調(diào)位卡盤的帶動下做水平旋轉(zhuǎn)圓周運動，旋轉(zhuǎn)速率為0.5~15轉(zhuǎn)/秒，開啟穩(wěn)壓直流電源，調(diào)節(jié)升降旋鈕，使試樣待測面浸入電解拋光液的液面以下3~15毫米，進行電解拋光，拋光溫度為0~35℃，電壓為15~40V，電流為0.2~1A，拋光時間為15~50s；

（5）試樣后處理：旋轉(zhuǎn)升降旋鈕，使電解拋光完畢的試樣脫離電解拋光液，同時關(guān)閉穩(wěn)壓直流電源，停止電機，將試樣放入酒精中清洗干凈，冷風(fēng)吹干，待測面朝上放置在真空干燥皿中保存。