[實用新型]一種點源坩堝的篩網裝置及點源坩堝

有效

• 申請號: 201921526708.5
• 申請日: 2019-09-12
• 公開（公告）號: CN210657114U
• 公開（公告）日: 2020-06-02
• 發明（設計）人: 張孟濤;張竹平;黎曉毅;張醒波;張潤剛
• 申請（專利權）人: 深圳雋輝自動化設備有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/12
• 代理公司: 深圳市金信啟明知識產權代理有限公司 44484
• 代理人: 周斌

本實用新型公開了一種點源坩堝的篩網裝置及點源坩堝，包括彈性卡箍、篩網本體及篩網蓋體；彈性卡箍支撐所述篩網本體，篩網蓋體設于篩網本體上部并與篩網本體鎖緊連接；所述篩網本體內設置有連通篩網本體上下兩端的第一篩網層，所述篩網蓋體內設置有連通篩網蓋體上下兩端的第二篩網層，且第一篩網層與第二篩網層之間形成一材料填充腔隙。本實用新型使得點源坩堝的篩網裝置具有通用性，能適應不同內徑尺寸的點源坩堝而避免浪費，同時能防止SiC顆粒飛濺。

技術領域

本實用新型涉及OLED加工設備技術領域，尤其涉及一種點源坩堝的篩網裝置及點源坩堝。

背景技術

小分子有機發光二極體(OLED)制程工藝較成熟，但有機發光材料極易被氧氣和水蒸氣所破壞，故成膜過程中要使用真空系統。而真空蒸鍍法又分為電阻加熱蒸鍍法、電子束蒸鍍法等。由于電子束的能量過大，會導致有機物自身分解，因此對于OLED器件來說，有機物層的蒸鍍幾乎都是用電阻加熱蒸鍍。常見的電阻加熱蒸鍍法是在真空蒸鍍機中放盛有有機物的坩堝，通過對其內部的電阻絲通電加熱，使有機材料蒸發或氣化，然后向固定的基板附著并最終形成膜層。

在OLED在制造過程中，涉及真空蒸鍍的有機膜層包含HIL、HTL、EML(R/G/B色阻)、ETL、EIL、Cathode和Charge generation layer等功能層，分別以薄膜的形式沉積在TFT基板表面。由于工藝參數不同，不同的功能層需要在不同的蒸鍍機腔體內進行，同時在蒸鍍完成后通過機械手臂將基板在不同的腔體之間進行轉移。

蒸鍍過程中的蒸發源分為線源坩堝和點源坩堝。在點源坩堝作為蒸發源時點源坩堝內放置有篩網裝置，篩網裝置的下方放置有機材料，篩網裝置設置有雙層篩網，其內放置填充有SiC材料層,電阻絲加熱后使點源坩堝內的有機材料升華后，氣化的有機分子通過篩網裝置的底層篩網向SiC層逸出，然后通過上層篩網有序的向玻璃基板擴散，并在單個點源坩堝負責蒸鍍的基板范圍內，形成薄厚和密度均一、表面平整的膜層。

由于不同有機膜功能層如HIL、HTL、EML、ETL、EIL等其工藝條件的不同、及材料的更換等需要在不同腔體尺寸的點源坩堝內進行，而現有技術中，篩網裝置一般為固定尺寸，不可調整，點源坩堝尺寸變化后，需要配置對應尺寸的篩網裝置，以前的篩網裝置會進行報廢處理而導致成本的浪費，同時現有的篩網裝置并沒有對雙層篩網進行緊固處理，在蒸鍍過程中顆粒狀的SiC會因氣相物質壓力過大而導致飛濺。

因此，現有技術還有待發展。

實用新型內容

鑒于上述現有技術的不足之處，本實用新型的目的在于提供一種點源坩堝的篩網裝置及點源坩堝，旨在使得點源坩堝的篩網裝置具有通用性，能適應不同內徑尺寸的點源坩堝，同時能防止SiC顆粒飛濺。

為實現上述目的，本實用新型采取了以下技術方案：

一種點源坩堝的篩網裝置，其中，包括彈性卡箍、篩網本體及篩網蓋體；

彈性卡箍支撐所述篩網本體，篩網蓋體設于篩網本體上部并與篩網本體鎖緊連接；

所述篩網本體內設置有連通篩網本體上下兩端的第一篩網層，所述篩網蓋體內設置有連通篩網蓋體上下兩端的第二篩網層，且第一篩網層與第二篩網層之間形成一材料填充腔隙。

其中，所述彈性卡箍、篩網本體及篩網蓋體采用不銹鋼或鈦材料制作。

其中，所述彈性卡箍包括首尾非閉合的環狀卡箍本體、設置在卡箍本體兩端向內彎折的調節觸頭，

所述卡箍本體環向間隔設置有多個向內凸出的支撐部，所述支撐部及調節觸頭接觸所述篩網本體的底端用于支撐篩網本體。

其中，所述篩網本體和篩網蓋體均為筒狀，篩網本體的底端設置有所述第一篩網層，篩網蓋體的底端設置有所述第二篩網層，所述篩網蓋體于篩網本體的上部套設于篩網本體內。