[實用新型]一種半導體材料拋光裝置

有效

• 申請號: 201921454291.6
• 申請日: 2019-09-03
• 公開（公告）號: CN210413996U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 徐宏進
• 申請（專利權）人: 揚州國潤半導體科技有限公司
• 主分類號: B24B27/00
• 分類號: B24B27/00;B24B41/06;B24B55/06;B24B41/00;B24B7/22;B24B29/02
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 11616
• 代理人: 李洪波

1.一種半導體材料拋光裝置，包括固定箱(1)箱、旋轉裝置(3)、固定裝置(4)和支撐柱(5)，其特征在于：所述固定箱(1)的底部四角通過螺栓固定有減震裝置(2)，所述固定箱(1)的底板表面設有旋轉裝置(3)，所述旋轉裝置(3)的頂部焊接固定有固定裝置(4)，所述固定裝置(4)的左側的支撐座表面上通過螺栓固定有抽風機(14)，所述抽風機(14)左側的固定箱(1)表面上焊接固定有導向柱(9)，所述固定裝置(4)右側的底座表面上焊接固定有支撐柱(5)，所述支撐柱(5)底板表面通過螺栓固定有正反電機(6)，所述正反電機(6)的輸出端焊接固定有調節螺桿(7)，所述調節螺桿(7)的外壁上轉動連接有螺母套，螺母套的外壁上焊接固定有安裝柱(8)，所述安裝柱(8)的下方通過螺栓固定有電動導軌(10)，所述電動導軌(10)的底部通過螺栓固定有電機箱(11)，所述電機箱(11)內通過螺栓固定有拋光電機(12)，所述拋光電機(12)的輸出端焊接固定有輸出軸，輸出軸的底部通過螺栓固定有研磨盤(13)。

2.根據權利要求1所述的一種半導體材料拋光裝置，其特征在于：所述旋轉裝置(3)包括旋轉電機(22)和轉動軸(25)，所述旋轉電機(22)通過螺栓固定在固定箱(1)的底板表面，所述旋轉電機(22)的輸出端焊接固定有旋轉軸，旋轉軸的頂部焊接固定有主動齒輪(23)，所述旋轉電機(22)左側的固定箱(1)內設有轉動軸(25)，所述轉動軸(25)的底部通過轉動座(24)與固定箱(1)的底板轉動連接，所述轉動軸(25)的外壁上焊接固定有與主動齒輪(23)相嚙合的從動齒輪(26)。

3.根據權利要求1所述的一種半導體材料拋光裝置，其特征在于：所述固定裝置(4)包括固定板(27)和固定架(28)，所述固定板(27)的表面開設有兩組調節槽，調節槽兩側的固定板(27)表面開設有多組固定螺孔，調節槽內通過調節塊滑動連接有固定架(28)，調節塊通過螺栓與固定板(27)表面的固定螺孔進行固定，所述固定架(28)上螺紋連接固定螺桿(29)，所述固定螺桿(29)的底部焊接固定有固定塊(30)。

4.根據權利要求1所述的一種半導體材料拋光裝置，其特征在于：所述減震裝置(2)包括減震套筒(18)和減震柱(20)，所述減震套筒(18)的底部焊接固定有支撐板(17)，所述減震套筒(18)內開設有移動槽，移動槽內設有減震彈簧(19)，所述減震彈簧(19)的頂部焊接固定有限位板，限位板的頂部中間位置焊接固定有減震柱(20)，所述減震柱(20)的頂部焊接固定有安裝板(21)，所述安裝塊焊接固定在固定箱(1)的底部。

5.根據權利要求1所述的一種半導體材料拋光裝置，其特征在于：所述抽風機(14)的進氣端通過進氣管焊接固定有風罩(16)，所述固定箱(1)的底板表面焊接固定有集塵箱(15)，所述集塵箱(15)通過出氣管與抽風機(14)的出氣端固定連接。