[實用新型]一種可調式翻片裝置有效
| 申請號: | 201921453934.5 | 申請日: | 2019-09-03 |
| 公開(公告)號: | CN210640200U | 公開(公告)日: | 2020-05-29 |
| 發明(設計)人: | 張學強;戴軍;張建偉;羅銀兵;李圣鶴 | 申請(專利權)人: | 羅博特科智能科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 殷海霞 |
| 地址: | 215000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 調式 裝置 | ||
本實用新型公開了一種可調式翻片裝置,該裝置包括支架,支架上設有:轉軸,轉軸上套設有兩翻轉盤,翻轉盤上沿徑向間隔設置有多個用于容納硅片的容納槽,兩翻轉盤上的容納槽配合將硅片夾持固定;驅動機構,驅動機構與轉軸連接,驅動機構驅動轉軸旋轉,轉軸可帶動翻轉盤將硅片從一面翻轉至另一面;轉軸上沿軸向設有與硅片尺寸匹配的貫通孔,硅片可通過貫通孔從轉軸的一邊平移至另一邊;傳輸機構,傳輸機構用于將硅片傳送至容納槽內并承接翻轉后的硅片,傳輸機構還用于通過貫通孔將硅片從轉軸的一邊平移至另一邊。本實用新型的可調式翻片裝置能夠在需要翻轉時能實現硅片的翻轉,翻轉效率高,并可在不需要翻轉時保證硅片平穩通過。
技術領域
本實用新型涉及硅片加工設備技術領域,特別涉及一種可調式翻片裝置。
背景技術
通常來講,對太陽能電池硅片的工藝處理包括以下個步驟:1、制絨,將硅片表面腐蝕成金字塔狀的形貌;2、擴散,硅片表面形成PN結;3、刻蝕,將硅片邊緣的PN結去掉,防止電池短路;4、去PSG,清洗硅片表面,去除二氧化硅層;5、PECVD,在硅片表面鍍一層減反射膜;6、印刷燒結,印刷電極及背場,并烘干燒結。
在上述工藝處理步驟中,有時需要將硅片翻轉,在公開號為CN207116380U的實用新型專利中公開了一種硅片快速翻轉機構,其能夠對硅片實現快速翻轉,而針對不同的硅片以及不同的加工方式,硅片在不同工位之間流轉時,有時需要翻轉有時不需要翻轉,這就需要一種能夠在需要翻轉時能實現翻轉,在不需要翻轉時保證硅片平穩通過的裝置。
實用新型內容
針對現有技術的不足,本實用新型目的在于提供一種結構合理,多功能的可調式翻片裝置。其采用如下技術方案:
一種可調式翻片裝置,其包括支架,所述支架上設有:
轉軸,所述轉軸上套設有兩翻轉盤,所述翻轉盤上沿徑向間隔設置有多個用于容納硅片的容納槽,所述兩翻轉盤上的容納槽配合將硅片固定;
驅動機構,所述驅動機構與所述轉軸連接,所述驅動機構驅動所述轉軸旋轉,所述轉軸可帶動所述翻轉盤將硅片從一面翻轉至另一面;
所述轉軸上沿軸向設有與硅片尺寸匹配的貫通孔,硅片可通過所述貫通孔從所述轉軸的一邊平移至另一邊;
傳輸機構,所述傳輸機構用于將硅片傳送至所述容納槽內并承接翻轉后的硅片,所述傳輸機構還用于通過所述貫通孔將硅片從所述轉軸的一邊平移至另一邊。
作為本實用新型的進一步改進,所述翻轉盤上對稱設有兩沿徑向延伸的貫通槽,所述貫通孔的兩開口分別與兩所述貫通槽連通,硅片可在所述傳輸機構的驅動下通過其中一貫通槽進入所述貫通孔,再從另一貫通槽從所述貫通孔脫離。
作為本實用新型的進一步改進,所述轉軸上套設有軸套,所述翻轉盤套設于所述軸套上,所述軸套上設有連通所述貫通槽和貫通孔的缺口。
作為本實用新型的進一步改進,所述翻轉盤上沿徑向間隔設置有多個分隔板,兩相鄰所述分隔板之間形成所述容納槽。
作為本實用新型的進一步改進,所述分隔板的兩個面上裝配有加強板,所述加強板的邊緣延伸出所述分隔板。
作為本實用新型的進一步改進,所述加強板通過螺絲固定于所述分隔板上。
作為本實用新型的進一步改進,所述傳輸機構包括傳送帶,所述傳送帶穿設于兩所述翻轉盤之間。
作為本實用新型的進一步改進,所述驅動機構包括步進電機。
本實用新型的有益效果:
本實用新型的可調式翻片裝置能夠在需要翻轉時能實現硅片的翻轉,翻轉效率高,并通過在轉軸上設置貫通孔,在不需要翻轉時保證硅片平穩通過。該裝置結構合理,自動化程度高,可以大幅提高生產效率。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于羅博特科智能科技股份有限公司,未經羅博特科智能科技股份有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201921453934.5/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:一種遙控器
- 下一篇:一種安裝穩定的污水處理用泵
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





