[實用新型]原子力顯微鏡

有效

• 申請號: 201921389176.5
• 申請日: 2019-08-26
• 公開（公告）號: CN210834963U
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G01Q60/24
• 分類號: G01Q60/24;G01B11/24
• 代理公司: 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294
• 代理人: 孫佳胤;高德志

1.一種原子力顯微鏡，其特征在于，包括：

晶圓夾取裝置，用于固定晶圓，并使晶圓豎立；

具有探針的第一微懸臂和第二微懸臂，所述第一微懸臂和第二微懸臂用于在晶圓豎立時，通過探針分別對晶圓的正面和背面進行掃描；

第一位置檢測裝置和第二位置檢測裝置，分別用于檢測第一微懸臂和第二微懸臂的偏移量，獲得晶圓的正面和背面的形貌圖像。

2.如權利要求1所述的原子力顯微鏡，其特征在于，所述晶圓夾取裝置包括第一載臺、位于第一載臺上卡槽，所述晶圓固定在所述卡槽中。

3.如權利要求2所述的原子力顯微鏡，其特征在于，所述晶圓夾取裝置還包括位于第一載臺上的旋轉單元，所述旋轉單元用于驅動所述卡槽旋轉，使得卡槽中固定的晶圓豎立。

4.如權利要求3所述的原子力顯微鏡，其特征在于，所述第一載臺包括第一粗動臺和第一精動臺，所述第一精動臺位于第一粗動臺上，所述旋轉單元位于第一精動臺上。

5.如權利要求4所述的原子力顯微鏡，其特征在于，所述第一粗動臺和第一精動臺控制所述晶圓夾取裝置上下前后移動，所述第一粗動臺的移動范圍大于所述第一精動臺的移動范圍。

6.如權利要求1所述的原子力顯微鏡，其特征在于，所述第一微懸臂和第二微懸臂分別固定在第二載臺和第三載臺上。

7.如權利要求6所述的原子力顯微鏡，其特征在于，所述第二載臺包括第三粗動臺和第四精動臺，所述第四精動臺位于第三粗動臺上，所述第一微懸臂固定在第四精動臺上，所述第三載臺包括第五粗動臺和第六精動臺，所述第六精動臺位于第五粗動臺上，所述第二微懸臂固定在第六精動臺上。

8.如權利要求7所述的原子力顯微鏡，其特征在于，第三粗動臺和第四精動臺控制所述第一微懸臂左右移動，所述第五粗動臺和第六精動臺控制所述第二微懸臂左右移動。

9.如權利要求6所述的原子力顯微鏡，其特征在于，第一位置檢測裝置和第二位置檢測裝置均包括光源和接收器，所述光源用于對第一微懸臂和第二微懸臂的具有探針的一端背面進行照射，所述接收器用于接收反射的光線。

10.如權利要求9所述的原子力顯微鏡，其特征在于，所述第一位置檢測裝置和第二位置檢測裝置均還包括光學單元，所述光學單元用于將光源發射的光線傳輸并照射在第一微懸臂和第二微懸臂的具有探針的一端背面，并將第一微懸臂和第二微懸臂背面反射回來的光線傳輸到接收器。

11.如權利要求9所述的原子力顯微鏡，其特征在于，所述光源為激光器，所述接收器為陣列感光二極管。

12.如權利要求9所述的原子力顯微鏡，其特征在于，所述原子力顯微鏡還包括第一反饋單元和第二反饋單元，所述第一反饋單元用于將第一位置檢測裝置中接收器獲得的信號當作反饋信號，作為內部的調整信號，并驅使第二載臺中的第四精動臺移動，以使得晶圓與第一微懸臂上的探針保持恒定的作用力；所述第二反饋單元用于將第二位置檢測裝置中接收器獲得的信號當作反饋信號，作為內部的調整信號，并驅使第三載臺中的第六精動臺移動，以使得晶圓與第二微懸臂上的探針保持恒定的作用力。

13.如權利要求1所述的原子力顯微鏡，其特征在于，還包括光學顯微鏡單元，所述光學顯微鏡單元用于對晶圓的表面進行觀測。