[實用新型]用于基板輸送夾具的清洗裝置

有效

• 申請號: 201822038730.7
• 申請日: 2018-12-05
• 公開（公告）號: CN209383857U
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 和琰;庾偉光
• 申請（專利權）人: 六合峰（天津）科技股份有限公司
• 主分類號: C23F1/30
• 分類號: C23F1/30;C22B7/00;C22B11/00
• 代理公司: 天津盈佳知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12224
• 代理人: 孫寶蕓

本實用新型公開了一種用于基板輸送夾具的清洗裝置，包括箱體、底座、集氣管、滑桿、滑塊、伸縮氣缸和機械手，底座設于箱體內并與箱體的內壁連接，底座上依次設有王水清洗槽和兩個反滲透水清洗槽，王水清洗槽內設吊籃，用于放置基板輸送夾具；箱體內設有滑桿，伸縮氣缸的缸筒通過滑塊與滑桿連接，伸縮氣缸的伸縮桿與機械手連接，用于吊取吊籃；箱體的相對兩側面安裝有透視玻璃，透視玻璃的上部開設有多個出氣孔，每個出氣孔均通過出氣管與集氣管連接，集氣管與氣體過濾器連接。本實用新型不僅可以清洗掉基板輸送夾具上殘留的金，使基板輸送夾具可以循環使用，且可以回收金，對廢氣可通過氣體過濾器處理，不會對環境造成污染。

技術領域

本實用新型屬于化學危險品處理技術領域，特別涉及一種用于基板輸送夾具的清洗裝置。

背景技術

在基板上通常會鍍金，鍍過金的基板通過基板輸送夾輸送到下一個工序，因此，會在基板輸送夾上殘留很多金，如果殘留的金逐漸累積，不僅會影響對基板的輸送，而且金為貴重金屬，不能回收的話會造成嚴重浪費。目前對基板輸送件進行清洗以回收金的時候是暴露在空氣中進行的，不僅回收不徹底，且產生的廢氣不容易收集另行處理，造成了大氣污染，危害周圍環境和人體健康。

實用新型內容

針對現有技術中存在的技術問題，本實用新型提供一種用于基板輸送夾具的清洗裝置。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是：

一種用于基板輸送夾具的清洗裝置，包括矩形的箱體、底座、集氣管、滑桿、滑塊、伸縮氣缸和機械手，所述底座為矩形，其設于箱體內并與箱體的內壁連接，所述底座上依次設有王水清洗槽和兩個反滲透水清洗槽，所述王水清洗槽內設吊籃，用于放置基板輸送夾具；所述箱體內設有滑桿，所述伸縮氣缸的缸筒通過滑塊與滑桿連接，所述伸縮氣缸的伸縮桿與機械手連接，用于吊取吊籃；所述箱體的相對兩側面安裝有透視玻璃，所述透視玻璃的上部開設有多個出氣孔，每個出氣孔均通過出氣管與集氣管連接，所述集氣管設于箱體的頂部，并位于罩體內，所述罩體的頂部設有氣體過濾器。

作為優選，所述伸縮氣缸的缸筒的外部套接有防腐蝕罩，所述防護罩的外壁與滑塊連接，所述防腐蝕罩通過螺釘與伸縮氣缸的缸筒連接。

作為優選，所述滑塊具有n形槽。

作為優選，所述防腐蝕罩的下端具有帶內螺紋的敞口，用于螺接保護套，所述保護套的內壁設有凹槽，用于放置密封圈，所述密封圈與伸縮氣缸的伸縮桿接觸。

作為優選，所述集氣管設置為兩個，兩個所述集氣管分別通過中間管與輸氣管連接。

作為優選，所述氣體過濾器的頂部設有三層過濾棉。

作為優選，所述機械手、滑桿和滑塊的材質均為防腐蝕材質。

本實用新新型的用于基板輸送夾具的清洗裝置，具有以下有益效果：本實用新型通過伸縮氣缸配合機械手將盛放基板輸送夾具的吊籃依次在王水清洗槽和兩個反滲透清洗槽內浸泡，不僅可以清洗掉基板輸送夾具上殘留的金，使基板輸送夾具可以循環使用，且可以對金回收。另外浸泡基板輸送夾具的過程中產生的廢氣可通過氣體過濾器處理，不會對環境造成污染。

附圖說明

圖1為本實用新型中的用于基板輸送夾具的清洗裝置的主視結構示意圖；

圖2為圖1中的A放大結構示意圖；

圖3為本實用新型中的用于基板輸送夾具的清洗裝置的滑桿和防腐蝕套的側視結構示意圖；

圖4為本實用新型中的用于基板輸送夾具的清洗裝置的保護套的剖視結構示意圖；

圖5為本實用新型中的用于基板輸送夾具的清洗裝置的吊籃的示意圖。

具體實施方式