[實用新型]一種基于激光誘導光熱效應的多模式掃描顯微鏡成像系統

有效

• 申請號: 201921368427.1
• 申請日: 2019-08-22
• 公開（公告）號: CN210571951U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 陳堅;韓成飛;馬亮;吳周令
• 申請（專利權）人: 合肥利弗莫爾儀器科技有限公司
• 主分類號: G01N21/55
• 分類號: G01N21/55
• 代理公司: 合肥天明專利事務所(普通合伙) 34115
• 代理人: 韓燕

1.一種基于激光誘導光熱效應的多模式掃描顯微鏡成像系統，其特征在于：包括從前往后順次設置的泵浦光源和泵浦光調制裝置，以及探測光源，第一分束合束器，第二分束合束器，顯微成像透鏡，固定于切換機構上的探測光空間濾光器，光電探測器和用于驅動待測樣品移動的樣品掃描運動裝置；所述的泵浦光調制裝置出射的泵浦光束經第一分束合束器透射出，所述的探測光源出射的探測光束經第一分束合束器反射出，第一分束合束器透射出的泵浦光束和反射出的探測光束均經第二分束合束器透射出，第二分束合束器透射出的泵浦光束和探測光束均經顯微成像透鏡聚焦到樣品掃描運動裝置上的待測樣品表面，待測樣品表面反射的探測光束依次經顯微成像透鏡、第二分束合束器反射出，所述的切換機構為驅動機構，帶動探測光空間濾光器移入或移出第二分束合束器和光電探測器之間，所述的第二分束合束器反射出的探測光束進入光電探測器實現激光誘導反射率顯微成像，第二分束合束器反射出的探測光束經探測光空間濾光器進入光電探測器實現激光誘導表面熱透鏡成像。

2.根據權利要求1所述的一種基于激光誘導光熱效應的多模式掃描顯微鏡成像系統，其特征在于：所述的泵浦光源和探測光源均為單色光源。

3.根據權利要求2所述的一種基于激光誘導光熱效應的多模式掃描顯微鏡成像系統，其特征在于：所述的泵浦光源和探測光源均為激光光源。

4.根據權利要求1所述的一種基于激光誘導光熱效應的多模式掃描顯微鏡成像系統，其特征在于：所述的樣品掃描運動裝置為橫縱向水平移動機構，樣品掃描運動裝置帶動待測樣品進行橫向或縱向的水平移動，讓泵浦光源和探測光源的輻照點在待測樣品表面進行二維逐點掃描。

5.根據權利要求1所述的一種基于激光誘導光熱效應的多模式掃描顯微鏡成像系統，其特征在于：所述的光電探測器前設置有波長選擇濾光裝置。

6.根據權利要求1所述的一種基于激光誘導光熱效應的多模式掃描顯微鏡成像系統，其特征在于：所述的泵浦光調制裝置的后端設置有泵浦光擴束裝置，所述的泵浦光擴束裝置出射的泵浦光束經第一分束合束器透射出。

7.根據權利要求1所述的一種基于激光誘導光熱效應的多模式掃描顯微鏡成像系統，其特征在于：所述的探測光源的后端設置有探測光擴束裝置，所述的探測光擴束裝置出射的探測光束經第一分束合束器反射出。