[實用新型]一種基于外差激光干涉儀同時測量距離和位移的裝置

有效

• 申請號: 201921336617.5
• 申請日: 2019-08-16
• 公開（公告）號: CN210803717U
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 梁浴榕;李潤兵;王謹;詹明生
• 申請（專利權）人: 中國科學院武漢物理與數學研究所
• 主分類號: G01S17/08
• 分類號: G01S17/08;G01S7/48;G01B11/02;G01B9/02
• 代理公司: 武漢宇晨專利事務所 42001
• 代理人: 黃瑞棠

1.一種基于外差激光干涉儀同時測量距離和位移的裝置，包括待測物體(40)，其特征在于：

設置有信號源(10)、外差激光干涉儀(20)和數字解調電路(30)；

其連接關系是：

信號源(10)與外差激光干涉儀(20)連接，用于調制激光頻率和驅動聲光移頻器；信號源(10)同時與數字解調電路(30)連接，用于提供參考信號；外差激光干涉儀(20)與待測物體(40)連通，用于產生激光干涉拍頻信號；外差激光干涉儀(20)與數字解調電路(30)連接，用于提供拍頻信號。

2.按權利要求1所述的裝置，其特征在于：

所述的外差激光干涉儀(20)包括激光器(21)、功率放大器(22)、聲光移頻器(23)、第1反射鏡(241)、第2反射鏡(242)和第3反射鏡(243)、偏振分束器(25)、消偏振分束器(26)、λ/2波片(27)、λ/4波片(28)和光電探測器(29)；

信號源(10)分別與激光器(21)、功率放大器(22)和數字解調電路(30)連接，功率放大器(22)和聲光移頻器(23)連接，光電探測器(29)和數字解調電路(30)連接；

激光器(21)、第1反射鏡(241)和聲光移頻器(23)依次連通；激光透過聲光移頻器(23)后產生零級光和一級光；一級光、第2反射鏡(242)、第3反射鏡(243)、消偏振分束器(26)和光電探測器(29)依次連通；零級光、λ/2波片(27)、偏振分束器(25)、λ/4波片(28)和待測物體(40)依次連通；從待測物體(40)反射的激光、λ/4波片(28)、偏振分束器(25)、消偏振分束器(26)和光電探測器(29)依次連通。

3.按權利要求1所述的裝置，其特征在于：

所述的數字解調電路(30)包括參考時鐘(31)、第1模數轉換電路(321)、第2模數轉換電路(322)、FPGA電路(33)、串口通訊(34)、計算機(35)、數模轉換電路(36)、濾波放大電路(37)；

信號源(10)、第1模數轉換電路(321)和FPGA電路(33)依次連接，外差激光干涉儀(20)、第2模數轉換電路(322)和FPGA電路(33)依次連接；參考時鐘(31)和FPGA電路(33)的時鐘連接；FPGA電路(33)的時鐘和第1模數轉換電路(321)、第2模數轉換電路(322)分別連接；FPGA電路(33)、串口通訊(34)和計算機(35)依次連接；FPGA電路(33)、數模轉換電路(36)和濾波放大電路(37)依次連接。