[實(shí)用新型]一種離子注入機(jī)檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921324931.1
• 申請日: 2019-08-15
• 公開（公告）號: CN210325686U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊洋
• 申請（專利權(quán)）人: 揚(yáng)州信尚電子科技有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/244
• 代理公司: 南京常青藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32286
• 代理人: 黃胡生

本實(shí)用新型涉及離子注入機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種離子注入機(jī)檢測裝置，包括掃描盤，掃描盤的周圍環(huán)設(shè)有若干均勻分布的控制裝置，控制裝置一端和掃描盤連接,控制裝置上設(shè)置有法拉第杯，控制裝置包括手柄、絲桿、外筒、彈簧、控制盒和固定座，絲桿的一端固定連接有手柄,絲桿的另一端延伸到外筒中，外筒形狀為一端開口的圓柱殼體結(jié)構(gòu)，外筒的內(nèi)腔中設(shè)置有彈簧和控制盒，控制盒位于外筒的開口端位置，控制盒的一端接觸有彈簧,彈簧的一端抵在外筒的凹槽底面，本實(shí)用新型構(gòu)造設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)法拉第杯快速和掃描盤實(shí)現(xiàn)空間位置同步固定，操作簡單，需要旋轉(zhuǎn)手柄，即可完成法拉第杯的快速脫離和結(jié)合，節(jié)省了大量時間，提高離子注入機(jī)的工作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及離子注入機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種離子注入機(jī)檢測裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)有技術(shù)中的離子注入機(jī)為了提高工作質(zhì)量，需要在掃描盤上安裝法拉第杯，在離子注入機(jī)中設(shè)置電流測量機(jī)構(gòu)，法拉第杯所接收到的所述離子束的多少不同，使得轉(zhuǎn)化的電流的大小不同，所述電流測量單元對轉(zhuǎn)化的電流的大小進(jìn)行檢測，從而可以快速判斷出離子束與掃描盤相對注入角度的偏離程度并可以將偏離信息及時反饋回控制端進(jìn)行調(diào)整，但是在掃描盤上安裝多個法拉第杯，涉及到定期維修保養(yǎng)的困擾，如何實(shí)現(xiàn)法拉第杯和掃描盤的快速連接或分解，是個需要解決的問題，為此我們提供了一種離子注入機(jī)檢測裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種離子注入機(jī)檢測裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種離子注入機(jī)檢測裝置，包括掃描盤，所述掃描盤的周圍環(huán)設(shè)有若干均勻分布的控制裝置，所述控制裝置一端和掃描盤連接,控制裝置上設(shè)置有法拉第杯，所述控制裝置包括手柄、絲桿、外筒、彈簧、控制盒和固定座，所述絲桿的一端固定連接有手柄,絲桿的另一端延伸到外筒中，所述外筒形狀為一端開口的圓柱殼體結(jié)構(gòu)，外筒的內(nèi)腔中設(shè)置有彈簧和控制盒，所述控制盒位于外筒的開口端位置，控制盒的一端接觸有彈簧,彈簧的一端抵在外筒的凹槽底面，彈簧和絲桿活動套接，絲桿一端延伸到控制盒中，控制盒形狀為圓柱殼體結(jié)構(gòu)，控制盒內(nèi)腔中設(shè)置有圓板狀的攔截板,絲桿一端端部和攔截板固定連接，所述外筒上遠(yuǎn)離手柄的一端連接有固定座，所述固定座一端端部固定嵌入到掃描盤的殼體中，法拉第杯設(shè)置于固定座中。

優(yōu)選的，所述固定座形狀為方形板端部一體連接L型彎折板，固定座的L型彎折板一端端部和外筒外壁固定連接，所述固定座的方形板上開設(shè)有卡位座，所述卡位座形狀為三棱柱狀凹槽。

優(yōu)選的，外筒的內(nèi)壁上開設(shè)有長方體狀滑槽，控制盒的外壁上固定環(huán)設(shè)有若干均勻分布的凸出滑塊，所述凸出滑塊一端延伸到外筒上的滑槽中。

優(yōu)選的，所述外筒上開設(shè)有螺紋孔，絲桿貫穿外筒上開設(shè)的螺紋孔，絲桿貫穿控制盒上開設(shè)的柱狀通孔。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

1.本實(shí)用新型構(gòu)造設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)法拉第杯快速和掃描盤實(shí)現(xiàn)空間位置同步固定，操作簡單，需要旋轉(zhuǎn)手柄，即可完成法拉第杯的快速脫離和結(jié)合，節(jié)省了大量時間，提高離子注入機(jī)的工作效率；

2.本實(shí)用新型通過彈簧的設(shè)計(jì)，使控制盒和固定座配合夾住法拉第杯，為彈性夾持，進(jìn)而避免離子注入機(jī)長期工作下來，法拉第杯和掃描盤之間的震動問題。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型位置分布圖；

圖3為控制裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1掃描盤、2控制裝置、3手柄、4絲桿、5外筒、6彈簧、7控制盒、8固定座、9攔截板、10卡位槽、11凸出滑塊、12法拉第杯。

具體實(shí)施方式