[實用新型]一種離子注入機檢測裝置

有效

• 申請號: 201921324931.1
• 申請日: 2019-08-15
• 公開（公告）號: CN210325686U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 楊洋
• 申請（專利權）人: 揚州信尚電子科技有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/244
• 代理公司: 南京常青藤知識產權代理有限公司 32286
• 代理人: 黃胡生

1.一種離子注入機檢測裝置，包括掃描盤(1)，其特征在于：所述掃描盤(1)的周圍環設有若干均勻分布的控制裝置(2)，所述控制裝置(2)一端和掃描盤(1)連接,控制裝置(2)上設置有法拉第杯(12)，所述控制裝置(2)包括手柄(3)、絲桿(4)、外筒(5)、彈簧(6)、控制盒(7)和固定座(8)，所述絲桿(4)的一端固定連接有手柄(3),絲桿(4)的另一端延伸到外筒(5)中，所述外筒(5)形狀為一端開口的圓柱殼體結構，外筒(5)的內腔中設置有彈簧(6)和控制盒(7)，所述控制盒(7)位于外筒(5)的開口端位置，控制盒(7)的一端接觸有彈簧(6),彈簧(6)的一端抵在外筒(5)的凹槽底面，彈簧(6)和絲桿(4)活動套接，絲桿(4)一端延伸到控制盒(7)中，控制盒(7)形狀為圓柱殼體結構，控制盒(7)內腔中設置有圓板狀的攔截板(9),絲桿(4)一端端部和攔截板(9)固定連接，所述外筒(5)上遠離手柄(3)的一端連接有固定座(8)，所述固定座(8)一端端部固定嵌入到掃描盤(1)的殼體中，法拉第杯(12)設置于固定座(8)中。

2.根據權利要求1所述的一種離子注入機檢測裝置，其特征在于：所述固定座(8)形狀為方形板端部一體連接L型彎折板，固定座(8)的L型彎折板一端端部和外筒(5)外壁固定連接，所述固定座(8)的方形板上開設有卡位座(10)，所述卡位座(10)形狀為三棱柱狀凹槽。

3.根據權利要求2所述的一種離子注入機檢測裝置，其特征在于：外筒(5)的內壁上開設有長方體狀滑槽，控制盒(7)的外壁上固定環設有若干均勻分布的凸出滑塊(11)，所述凸出滑塊(11)一端延伸到外筒(5)上的滑槽中。

4.根據權利要求1所述的一種離子注入機檢測裝置，其特征在于：所述外筒(5)上開設有螺紋孔，絲桿(4)貫穿外筒(5)上開設的螺紋孔，絲桿(4)貫穿控制盒(7)上開設的柱狀通孔。