[實用新型]晶圓片鏟片機構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921320181.0
• 申請日: 2019-08-14
• 公開（公告）號: CN210040154U
• 公開（公告）日: 2020-02-07
• 發(fā)明（設計）人: 李繼忠;李述周;朱春
• 申請（專利權）人: 常州科沛達清洗技術股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓片鏟片機構，包括輸送平臺及對應設置在輸送平臺上方的鏟片單元，其特征在于：所述鏟片單元包括鏟片支架、鏟片動力件、滑塊及鏟板，所述鏟片動力件固定在鏟片支架上，鏟片動力件通過滑塊與鏟板連接并可驅動其移動，所述鏟板與水平面相傾斜，鏟板一端與滑塊底端鉸接，鏟板中部與滑塊之間通過彈簧彈性連接，鏟板受到壓力時可繞滑塊旋轉，不受壓力時通過彈簧復位。

2.根據權利要求1所述的晶圓片鏟片機構，其特征在于：所述輸送平臺上設置有用于使陶瓷盤旋轉并傾斜的旋轉升降單元，所述旋轉升降單元包括頂升氣缸、驅動電機、升降板及轉盤，所述頂升氣缸與升降板連接，所述轉盤、驅動電機設置在升降板上，驅動電機與轉盤連接，頂升氣缸可通過升降板驅動轉盤一端上升從而帶動陶瓷盤傾斜，驅動電機可驅動轉盤旋轉。

3.根據權利要求2所述的晶圓片鏟片機構，其特征在于：所述輸送平臺上還設置有定位單元，所述定位單元為若干個，對應設置在轉盤四周，包括升降氣缸及定位輪，所述升降氣缸可驅動定位輪升降。

4.根據權利要求1所述的晶圓片鏟片機構，其特征在于：所述鏟片單元一側設置有感應器。