[實用新型]一種用于精密儀器的防微震基座

有效

• 申請號: 201921316521.2
• 申請日: 2019-08-14
• 公開（公告）號: CN210319099U
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 商富祥;商富彬
• 申請（專利權）人: 江蘇瑞鑫集成電路設備有限公司
• 主分類號: F16M5/00
• 分類號: F16M5/00;F16F15/02
• 代理公司: 南京常青藤知識產權代理有限公司 32286
• 代理人: 毛洪梅

本實用新型涉及精密設備技術領域，具體為一種用于精密儀器的防微震基座，包括機體和底座，所述機體底端一體成型對稱設置圓形凸塊，所述圓形凸塊卡接在第一放置槽中，所述第一放置槽設置在柱體上，柱體一體成型設置在主體的上端，所述主體底端卡接在第二放置槽中，所述第二放置槽一體成型設置在滑板上端，所述滑板兩側一體成型對稱設置滑塊，對于半導體及光電子無塵室精密測量機臺的防微震基座，通過本實用新型可以快捷進行安裝、拆卸和更換，從而保證防微震基座的防震性能，進而保證精密儀器的工作質量。

技術領域

本實用新型涉及精密設備技術領域，具體為一種用于精密儀器的防微震基座。

背景技術

基座作為精密儀器的支撐基礎和安裝平臺，通過設有鋼鐵配件與精密儀器固定連接，其穩固性和尺寸精度直接影響儀器的工作精度，對投入生產后的產品質量、生產安全都有很大的影響，特別是在半導體和光電等對所用儀器的精密度要求極高行業中，現有技術下對于半導體及光電子無塵室精密測量機臺的防微震基座的安裝通常都是通過固定螺釘固定在地面或者通過混凝土的凝固作用來實現固定連接，即將防微震基座嵌入混凝土中，這樣雖然起到了固定安裝，若是出現故障需要對防震基座進行檢修和更換就會非常麻煩，進而影響防震效果，影響精密儀器的工作質量，為此，本實用新型提出一種用于精密儀器的防微震基座用于解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于精密儀器的防微震基座，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于精密儀器的防微震基座，包括機體和底座，所述機體底端一體成型對稱設置圓形凸塊，所述圓形凸塊卡接在第一放置槽中，所述第一放置槽設置在柱體上，柱體一體成型設置在主體的上端，所述主體底端卡接在第二放置槽中，所述第二放置槽一體成型設置在滑板上端，所述滑板兩側一體成型對稱設置滑塊，所述滑板一端一體成型設置拉環，所述滑塊滑動連接第一滑槽，所述第一滑槽對稱設置在第一凹槽兩側，所述第一凹槽設置在底座上，所述第一凹槽內側兩邊對稱設置第二滑槽、固定孔，所述固定孔插接有銷釘，所述第一凹槽底端設置第二凹槽，所述第二凹槽貫穿設置齒條，所述齒條一端一體成型設置支撐板、另一端延伸至第三凹槽中，所述第三凹槽設置在底座邊側，所述齒條與齒輪嚙合連接，所述齒輪焊接在轉動軸的一端，所述轉動軸另一端一體成型設置圓盤，所述轉動軸貫穿設置在固定板中，所述固定板與底座通過螺釘固定連接，所述底座底端邊側一體成型對稱設置連接腳，所述連接腳設置固定孔。

優選的，所述第一滑槽與第二滑槽相連通設置，第二滑槽與滑塊設置位置相對應，并且第一凹槽同一邊側上兩個第二滑槽之間的距離與滑板同一邊側上兩個滑塊之間的距離相等。

優選的，所述圓形凸塊直徑與第一放置槽直徑相同。

優選的，所述齒條與齒輪齒形角、模數相同。

優選的，所述支撐板直徑與第二凹槽直徑相同，支撐板厚度與第二凹槽高度相同。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

對于半導體及光電子無塵室精密測量機臺的防微震基座，通過本實用新型可以快捷進行安裝、拆卸和更換，從而保證防微震基座的防震性能，進而保證精密儀器的工作質量。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型底座結構連接俯視圖；

圖3為本實用新型底座結構連接仰視圖；

圖4為本實用新型放置槽與滑板連接結構示意圖。