[實用新型]一種防損壞的硅片脫膠架

有效

• 申請號: 201921308772.6
• 申請日: 2019-08-13
• 公開（公告）號: CN210110731U
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 鄭松;余江湖;劉君
• 申請（專利權）人: 安徽晶天新能源科技有限責任公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種防損壞的硅片脫膠架，包括活動擋板(1)和頂板(27)，其特征在于：所述活動擋板(1)的表面開設有第一透液孔(2)、上穿孔(3)、中穿孔(4)、下穿孔(5)和側螺孔(6)，所述第一透液孔(2)位于活動擋板(1)中部，所述上穿孔(3)、中穿孔(4)、下穿孔(5)和側螺孔(6)在活動擋板(1)的兩側從上到下依次排列，所述上穿孔(3)被第一導向桿(7)貫穿，所述第一導向桿(7)的右端固定連接有支撐桿(8)，所述支撐桿(8)的上表面開設有擱置槽(9)，所述中穿孔(4)被第二導向桿(10)貫穿，所述第二導向桿(10)的右端固定連接有防護桿(11)，所述下穿孔(5)被第三導向桿(12)貫穿，所述第三導向桿(12)的右端固定連接有承接桿(13)，所述側螺孔(6)被絲桿(16)貫穿，所述絲桿(16)的右端固定連接有側分隔桿(17)，所述側分隔桿(17)的表面活動連接有套圈(18)，所述套圈(18)的表面與隔板(19)固定連接，所述隔板(19)的內側開設有凹槽(20)，所述第一導向桿(7)、第二導向桿(10)和第三導向桿(12)位于活動擋板(1)左側部分的表面開設有螺紋槽(14)，所述螺紋槽(14)和絲桿(16)位于活動擋板(1)左側的部分均與手擰螺母(15)螺紋連接，所述支撐桿(8)、防護桿(11)和承接桿(13)的右端與固定擋板(21)固定連接，所述固定擋板(21)和活動擋板(1)的頂端均固定連接有勾爪(26)，所述固定擋板(21)的表面開設有第二透液孔(22)和側穿孔(23)，所述第二透液孔(22)位于固定擋板(21)的中部，所述側穿孔(23)位于第二透液孔(22)的右側，所述側穿孔(23)的內側固定連接有軸承圈(24)，所述軸承圈(24)被側分隔桿(17)的右端貫穿，所述側分隔桿(17)的末端固定連接有手擰柄(25)，所述頂板(27)兩側的下端開設有穿棍孔(28)，所述穿棍孔(28)被擱置棍(29)貫穿，所述擱置棍(29)放置于擱置槽(9)的內側，所述頂板(27)的底端通過膠體與硅片(30)固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種防損壞的硅片脫膠架，其特征在于：所述上穿孔(3)、中穿孔(4)和下穿孔(5)關于第一透液孔(2)各自對稱分布有兩個。

3.根據權利要求1所述的一種防損壞的硅片脫膠架，其特征在于：所述擱置槽(9)的截面為多個連續的S形。

4.根據權利要求1所述的一種防損壞的硅片脫膠架，其特征在于：所述絲桿(16)的長度小于或等于第一導向桿(7)、第二導向桿(10)和第三導向桿(12)的最大長度。

5.根據權利要求1所述的一種防損壞的硅片脫膠架，其特征在于：所述套圈(18)的內徑大于側分隔桿(17)的外徑。

6.根據權利要求1所述的一種防損壞的硅片脫膠架，其特征在于：所述隔板(19)的長度小于側分隔桿(17)與支撐桿(8)的最短距離。

7.根據權利要求1所述的一種防損壞的硅片脫膠架，其特征在于：所述凹槽(20)的高度大于防護桿(11)的半徑。

8.根據權利要求1所述的一種防損壞的硅片脫膠架，其特征在于：所述側穿孔(23)的位置與側螺孔(6)的位置相對應。

9.根據權利要求1所述的一種防損壞的硅片脫膠架，其特征在于：所述勾爪(26)在固定擋板(21)和活動擋板(1)的頂端均對稱分布有兩個。