[實用新型]液體回收裝置

有效

• 申請號: 201921253050.5
• 申請日: 2019-08-05
• 公開（公告）號: CN210732170U
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 黃景山;裴雷洪;劉鵬
• 申請（專利權）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: B24B57/00
• 分類號: B24B57/00
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 焦天雷

1.一種液體回收裝置，用于晶圓化學機械研磨機臺，其特征在于，包括：

液體收集結構，其設置在晶圓化學機械研磨機臺邊緣旁側，且位于晶圓化學機械研磨機臺研磨液噴頭下方，其能將晶圓化學機械研磨機臺研磨液噴頭流出的液體回收；

液體導入結構，其一端連接液體收集結構，其另一端置于儲液結構中；

儲液結構，其布置在晶圓化學機械研磨機臺邊緣旁側，其用于存儲回收的液體；

送風裝置，其設置在儲液結構的旁側，其能向儲液結構內輸送新風。

2.如權利要求1所述的液體回收裝置，其特征在于，還包括：

擴散蒸發件，其設置在儲液結構中，且位于儲液結構中儲存液體液面上方，液體導入結構穿過擴散蒸發件。

3.如權利要求1所述的液體回收裝置，其特征在于，還包括：

液體導出結構，其一端設置在儲液結構儲存液體中，其另一端連接化學機械研磨機臺的研磨液儲存機構；

泵，其設置在儲液結構中，其連接液體導出結構，其將儲液結構儲存液體泵入化學機械研磨機臺研磨液存儲機構。

4.如權利要求2所述的液體回收裝置，其特征在于：蒸發擴散件是固定在儲液結構中的擴散蒸發膜。

5.如權利要求1所述的液體回收裝置，其特征在于：液體收集結構是液體收集槽或液體收集盤，液體導入結構是連接在所述液體收集槽或液體收集盤下方的導液管。

6.如權利要求1所述的液體回收裝置，其特征在于：儲液結構是底部設有滑動機構的儲液桶。

7.如權利要求1所述的液體回收裝置，其特征在于，還包括：

水含量檢測傳感器，其設置在儲液結構底部，其用于檢測回收研磨液中的水含量，其內存儲水含量閾值；

當水含量檢測傳感器檢測的水含量大于水含量閾值，水含量檢測傳感器發送電信號使風量控制閥門開度為第一預設開度；

當水含量檢測傳感器檢測的水含量小于等于水含量閾值，水含量檢測傳感器發送電信號使風量控制閥門開度為第二預設開度；

其中，第一預設開度大于第二預設開度；

風量控制閥門，其設置在送風裝置的出風口。

8.如權利要求1所述的液體回收裝置，其特征在于，還包括：

第一移動支撐架，其底部設有滑動機構，其用于支撐液體收集結構；

其中，液體導入結構采用柔性管體。

9.如權利要求3所述的液體回收裝置，其特征在于，還包括：

第二移動支撐架，其底部設有滑動機構，其用于支撐液體導出結構；

其中，液體導出結構采用柔性管體。

10.如權利要求1所述的液體回收裝置，其特征在于：送風裝置是吹風機，其向儲液結構中的液體表面輸送空氣。

11.如權利要求1所述的液體回收裝置，其特征在于：送風裝置是具有加熱裝置的吹風機，其向儲液結構中的液體表面輸送加熱空氣。