[實用新型]雙工位硅片插片機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201921207342.5 | 申請日: | 2019-07-30 |
| 公開(公告)號: | CN210006711U | 公開(公告)日: | 2020-01-31 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 馮艷紅 | 申請(專利權(quán))人: | 天津創(chuàng)昱達(dá)光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677 |
| 代理公司: | 11562 北京東方盛凡知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人: | 宋平 |
| 地址: | 301803 天津市*** | 國省代碼: | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 電動滑臺 底座 本實用新型 插片機構(gòu) 傳送平臺 安裝座 插片機 固定板 橫板 自動化 頂部中間位置 伺服電機 鎖緊螺栓 自動取料 自動送料 存放箱 內(nèi)頂壁 雙工位 硅片 插片 省時 省力 焊接 | ||
1.雙工位硅片插片機,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的頂部中間位置設(shè)置有插片機構(gòu)(2),插片機構(gòu)(2)的兩側(cè)均設(shè)置有傳送平臺(3),兩個所述傳送平臺(3)的頂部均放置有存放箱(4),所述底座(1)的頂部兩側(cè)均焊接有固定板(8),兩個固定板(8)的頂部固定安裝有橫板(5),橫板(5)的底部兩側(cè)均固定安裝有第一電動滑臺(6),兩個第一電動滑臺(6)相互靠近的一側(cè)設(shè)置有第二電動滑臺(7),所述第二電動滑臺(7)的下方設(shè)置有安裝座(9),安裝座(9)的內(nèi)頂壁一側(cè)通過鎖緊螺栓安裝有第一伺服電機(10),所述第一伺服電機(10)的輸出軸上固定連接有齒輪(11),齒輪(11)上嚙合有齒圈(13),所述齒圈(13)的內(nèi)圈中焊接有連接柱(12),連接柱(12)的下端延伸至安裝座(9)的外部,并且通過鎖緊螺栓安裝有液壓缸(15),所述液壓缸(15)的活塞桿上固定連接有安裝板(16),安裝板(16)的底部兩側(cè)均固定連接有豎板(17),兩個豎板(17)之間設(shè)置有雙向絲桿(20),雙向絲桿(20)的外部螺紋套接有一組限位板(18),且兩個限位板(18)相互靠近的一側(cè)下部固定有夾持塊(21)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙工位硅片插片機,其特征在于,所述安裝板(16)的內(nèi)頂壁設(shè)有滑槽,兩個限位板(18)的上端均延伸至滑槽的內(nèi)部,兩個限位板(18)對稱設(shè)置在雙向絲桿(20)的兩側(cè),且雙向絲桿(20)的一端連接有第二伺服電機(19)的輸出軸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙工位硅片插片機,其特征在于,所述第一電動滑臺(6)的滑動端上均設(shè)有第一滑塊,第一電動滑臺(6)的第一滑塊上均設(shè)有第二電動滑臺(7),第二電動滑臺(7)的滑動端上設(shè)有第二滑塊,且第二電動滑臺(7)的第二滑塊上固定有活動塊,安裝座(9)的頂部與活動塊的底部相固定。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙工位硅片插片機,其特征在于,所述插片機構(gòu)(2)包括兩根豎直設(shè)置的支撐板,支撐板的側(cè)面均設(shè)有插槽,支撐板之間固定連接有橫梁,且橫梁與底座(1)的頂部中間位置相固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙工位硅片插片機,其特征在于,所述第二電動滑臺(7)的長度大于兩個傳送平臺(3)之間的距離。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙工位硅片插片機,其特征在于,兩個所述夾持塊(21)相互靠近的一側(cè)均固定安裝有橡膠墊(14),且兩個橡膠墊(14)均位于插片機構(gòu)(2)的正上方。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





