[實用新型]高頻測試探針卡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921177371.1
• 申請日: 2019-07-25
• 公開（公告）號: CN210514408U
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳彥
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州韜盛電子科技有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R31/26
• 代理公司: 北京化育知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11833
• 代理人: 尹均利

本實用新型涉及一種高頻測試探針卡，包括PCB板和探針，所述探針包括本體和針尖，所述本體和針尖組成類“L”型結(jié)構(gòu)，所述探針的本體通過導電膠粘連固定在PCB板上。本實用新型采用導電銀膠將探針粘接固定在PCB板上，整體結(jié)構(gòu)更為簡單，探針針尖到PCB板的連接處的整體路徑更短，提高了測試頻率；無需陶瓷載體來固定探針，節(jié)省了陶瓷載體的制作成本及時間；直接用導電銀膠將探針固定在PCB上，并直接起到了連接導通作用，省去了后續(xù)的焊接環(huán)節(jié)，提高了制作效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及晶圓測試技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高頻測試探針卡。

背景技術(shù)

在傳統(tǒng)的晶圓測試中，普遍使用探針卡來對晶圓進行功能性的檢測，懸臂探針卡，在晶圓測試中占據(jù)著相當大的使用比例。

傳統(tǒng)的懸臂探針卡，由于受到結(jié)構(gòu)及制造工藝的限制，往往無法滿足一些高頻信號的測試，當測試頻率高于600MHz時，傳統(tǒng)懸臂針卡就無法滿足測試需求。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種高頻測試探針卡，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中的傳統(tǒng)的懸臂探針卡無法滿足高頻信號測試的問題。

本實用新型提供了一種高頻測試探針卡，包括PCB板和探針，所述探針包括本體和針尖，所述本體和針尖組成類“L”型結(jié)構(gòu)，所述探針的本體通過導電膠粘連固定在PCB板上。

進一步的，所述導電膠為導電銀膠。

進一步的，所述探針的本體和針尖一體成型。

采用上述本實用新型技術(shù)方案的有益效果是：

本實用新型采用導電銀膠將探針粘接固定在PCB板上，整體結(jié)構(gòu)更為簡單，探針針尖到PCB板的連接處的整體路徑更短，提高了測試頻率；

無需陶瓷載體來固定探針，節(jié)省了陶瓷載體的制作成本及時間；

直接用導電銀膠將探針固定在PCB上，并直接起到了連接導通作用，省去了后續(xù)的焊接環(huán)節(jié)，提高了制作效率。

附圖說明

圖1為傳統(tǒng)的測試探針卡結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型高頻測試探針卡結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖中，各標號所代表的部件列表如下：

1-陶瓷載體，2-PCB板，3-本體，4-針尖，5-導電膠。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。

如圖1所示，傳統(tǒng)的測試探針卡是將探針用絕緣樹脂固定到陶瓷載體1上，然后將陶瓷載體1粘貼到PCB板2，再將探針的本體3尾端焊接到PCB板2的指定位置，由此探針針尖4到PCB板2形成了一個信號通路，在測試中可將芯片的信號傳輸，達到測試的效果，但是受到結(jié)構(gòu)的限制，該類探針卡的測試路徑較長，即針尖4到PCB板2的距離較長，從而使得測試頻率受到限制，一般無法超過600MHz。

如圖2所示，本實用新型一種高頻測試探針卡，包括PCB板2和探針，所述探針包括本體3和針尖4，所述本體3和針尖4組成類“L”型結(jié)構(gòu)，所述探針的本體3通過導電膠5粘連固定在PCB板2上，所述導電膠5為導電銀膠，所述探針的本體3和針尖4一體成型。該實施例通過導電銀膠直接將探針本體3固定在PCB板2上，由于采用導電銀膠固定，直接實現(xiàn)了探針和PCB板2的連通，無需再做焊接工序，而且該種結(jié)構(gòu)將針尖4到PCB板2的測試路徑縮減60％以上，可以實現(xiàn)高頻測試。