[實(shí)用新型]一種能夠快速換靶的柔性薄膜太陽(yáng)能電池磁控濺射設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921160422.X
• 申請(qǐng)日: 2019-07-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210560712U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉行健;陳培專(zhuān);李仁龍;魏昌華;高翔
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 綿陽(yáng)金能移動(dòng)能源有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/35;C23C14/56;H01L21/67;H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11369
• 代理人: 賈曉燕

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種能夠快速換靶的柔性薄膜太陽(yáng)能電池磁控濺射設(shè)備，包括：腔室，其頂端的內(nèi)表面上固定焊接有一組平行的導(dǎo)軌；腔門(mén)，其與腔室可實(shí)現(xiàn)密閉相連，所述腔門(mén)外設(shè)置有凸起的容納腔，所述凸起的容納腔能夠容納腔室外部的導(dǎo)軌，所述腔門(mén)外的底端連接有支撐板；連接板，其一個(gè)面上設(shè)置有一組支撐桿，所述支撐桿上均設(shè)置有第一滾輪，所述第一滾輪與導(dǎo)軌相互卡合滾動(dòng)連接；收卷輥和放卷輥，其對(duì)稱(chēng)且可轉(zhuǎn)動(dòng)連接在連接板和腔門(mén)上，所述連接板和腔門(mén)間可轉(zhuǎn)動(dòng)連接有鍍膜輥，所述收卷輥、放卷輥和鍍膜輥上連接有卷材。本實(shí)用新型的一種能夠快速換靶的柔性薄膜太陽(yáng)能電池磁控濺射設(shè)備具有操作簡(jiǎn)單，節(jié)省換靶時(shí)間，占用空間小的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于柔性薄膜太陽(yáng)能電池磁控濺射設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種能夠快速換靶的柔性薄膜太陽(yáng)能電池磁控濺射設(shè)備。

背景技術(shù)

磁控濺射是物理氣相沉積法的一種，其原理是入射粒子和靶的碰撞過(guò)程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復(fù)雜的散射過(guò)程，和靶原子碰撞，把部分動(dòng)量傳給靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成級(jí)聯(lián)過(guò)程，在這種級(jí)聯(lián)過(guò)程中某些表面附近的靶原子獲得向外運(yùn)動(dòng)的足夠動(dòng)量，離開(kāi)靶被濺射出來(lái)，整個(gè)過(guò)程易于控制，且效率也較高，運(yùn)用較為廣泛。

在目前的磁控濺射設(shè)備中，換靶是不可缺少的必要步驟，而常規(guī)的換靶方式，可以利用吊車(chē)進(jìn)行換靶，但這種方法不僅占用空間、耗費(fèi)的時(shí)間長(zhǎng)，并且容易污染環(huán)境。針對(duì)以上問(wèn)題，設(shè)計(jì)了一種腔室內(nèi)導(dǎo)軌，配套使用滑塊、手動(dòng)葫蘆，能夠直接在設(shè)備區(qū)域直接完成換靶作業(yè)，占用空間小、用時(shí)短，且不污染環(huán)境。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的一個(gè)目的是解決至少上述問(wèn)題和/或缺陷，并提供至少后面將說(shuō)明的優(yōu)點(diǎn)。

為了實(shí)現(xiàn)根據(jù)本實(shí)用新型的這些目的和其它優(yōu)點(diǎn)，提供了一種能夠快速換靶的柔性薄膜太陽(yáng)能電池磁控濺射設(shè)備，包括：

腔室，其頂端的內(nèi)表面上固定焊接有一組平行的導(dǎo)軌，所述一組平行的導(dǎo)軌一端位于腔室內(nèi)，另一端位于腔室外部；

腔門(mén)，其與腔室可實(shí)現(xiàn)密閉相連，所述腔門(mén)外表面的頂端平行設(shè)置有一組凸起的容納腔，所述一組凸起的容納腔能夠容納位于腔室外部的導(dǎo)軌，所述腔門(mén)外表面的底端固定連接有支撐板，所述支撐板與腔門(mén)外表面還通過(guò)兩根傾斜桿固定焊接；

連接板，其一個(gè)面上豎直設(shè)置有兩根支撐桿，所述兩根支撐桿上均設(shè)置有第一滾輪，所述第一滾輪與一組平行的導(dǎo)軌相互卡合滾動(dòng)連接；

收卷輥和放卷輥，其對(duì)稱(chēng)且可轉(zhuǎn)動(dòng)連接在連接板和腔門(mén)上，所述連接板和腔門(mén)間可轉(zhuǎn)動(dòng)連接有鍍膜輥，所述收卷輥、放卷輥和鍍膜輥上連接有卷材。

優(yōu)選的是，所述一組平行的導(dǎo)軌等距對(duì)稱(chēng)分布在腔室頂端的內(nèi)表面上。

優(yōu)選的是，所述一組平行的導(dǎo)軌均包括：“工”字型導(dǎo)軌主體，其外部表面上可拆卸連接有U型外殼。

優(yōu)選的是，所述第一滾輪與一組平行的導(dǎo)軌卡合滾動(dòng)連接方式為：所述一組平行的導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)置的“工”字型導(dǎo)軌主體內(nèi)均包含有一組內(nèi)滑槽和一組外滑槽，所述第一滾輪分別卡合在內(nèi)滑槽上，實(shí)現(xiàn)滾動(dòng)連接。

優(yōu)選的是，所述“工”字型導(dǎo)軌主體與U型外殼的可拆卸連接為：所述“工”字型導(dǎo)軌主體底端與U型外殼底端設(shè)置有相匹配的螺紋孔，兩者通過(guò)螺釘連接。

優(yōu)選的是，所述“工”字型導(dǎo)軌主體為高碳鉻軸承鋼導(dǎo)軌主體，所述U型外殼為304不銹鋼U型外殼。

優(yōu)選的是，所述一組凸起的容納腔為對(duì)稱(chēng)分布的304不銹鋼中空長(zhǎng)方形容納腔。

優(yōu)選的是，所述支撐板的底端的四個(gè)角上設(shè)置有第二滾輪。

優(yōu)選的是，所述收卷輥、放卷輥、鍍膜輥與連接板和腔門(mén)的可轉(zhuǎn)動(dòng)連接方式為：通過(guò)軸承可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

本實(shí)用新型至少包括以下有益效果：