[實用新型]管路連接結構及具有其的半導體生產設備

有效

• 申請號: 201921111131.1
• 申請日: 2019-07-16
• 公開（公告）號: CN210566791U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: F16L15/04
• 分類號: F16L15/04;F16L29/00;B01D46/00;B01D46/12
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 孫寶海;袁禮君

本公開涉及半導體儲存器技術領域，提出了一種管路連接結構及具有其的半導體生產設備，管路連接結構包括：連接管路，連接管路的一端用于連接排出反應氣體的氣體排出口，連接管路的另一端用于連接接收反應氣體的氣體接收口；閥門，閥門設置在連接管路上；過濾件，過濾件設置在連接管路上，且與閥門間隔設置。本公開的管路連接結構在對閥門與連接管路之間的密封性出現問題時，可以僅拆卸二者之間的管路即可進行二次密封，而不用對過濾件進行拆除。相應的，當過濾件的過濾性出現問題時，也可以僅對過濾件進行拆除更換，整個更換的效率較高。

技術領域

本公開涉及半導體儲存器技術領域，尤其涉及一種管路連接結構及具有其的半導體生產設備。

背景技術

在半導體儲存器技術領域，擴散爐管設備是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一，用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝。在具體使用過程中，主要過程包括：

Vaporizer(蒸發器)，利用高溫以及超大接觸面積，實現Precursor(反應物)由液態轉化成為氣態；Gas line filter(氣體管路過濾件)，利用管道過濾件將氣態Precursor中的雜質去除，以達到減少流程中產生Particle(雜質)的問題。

針對，Gas line filter將氣態precursor中的雜質去除，現有的設計是將兩個Filter按順序安裝到管路上，進行更換需要Filter(過濾件)前后管路拆除，工作量大。此外，管路以filter上部密封面密封，安裝完成后若出現氣密性問題需進行Filter更換(主要涉及與閥門的密封)。

實用新型內容

本公開的一個主要目的在于克服上述現有技術的至少一個缺陷，提供一種管路連接結構及具有其的半導體生產設備。

根據本實用新型的第一個方面，提供了一種管路連接結構，管路連接結構包括：連接管路，連接管路的一端用于連接排出反應氣體的氣體排出口，連接管路的另一端用于連接接收所述反應氣體的氣體接收口；閥門，閥門設置在連接管路上；過濾件，過濾件設置在連接管路上，且與閥門間隔設置。

在本實用新型的一個實施例中，過濾件設置在閥門與氣體排出口之間，過濾件的至少部分可拆卸地設置在連接管路上。

在本實用新型的一個實施例中，過濾件包括：本體部，本體部設置在連接管路上，本體部具有容納腔；濾芯部，濾芯部可拆卸地設置在容納腔內。

在本實用新型的一個實施例中，本體部包括：管體，管體的管腔的至少部分為容納腔；第一轉接段，第一轉接段設置在管體的一端；第二轉接段，第二轉接段設置在管體的另一端，第一轉接段和第二轉接段均與連接管路相連接；其中，第一轉接段和第二轉接段中的至少之一可拆卸地設置在管體上，以使濾芯部可從容納腔內取出。

在本實用新型的一個實施例中，連接管路包括：第一管路段，第一管路段的兩端分別連接氣體排出口與第一轉接段；第二管路段，第二管路段的兩端分別連接第二轉接段與閥門；其中，第一管路段與第一轉接段可拆卸地相連接；和/或，第二管路段與第二轉接段可拆卸地相連接。

在本實用新型的一個實施例中，管路連接結構還包括：第一連接組件，第一連接組件包括用于連接第一管路段和第一轉接段的第一螺紋部，以及用于密封第一螺紋部與第一管路段的第一密封部，和/或，用于密封第一螺紋部與第一轉接段的第二密封部；和/或，第二連接組件，第二連接組件包括用于連接第二管路段和第二轉接段的第二螺紋部，以及用于密封第二螺紋部與第二管路段的第三密封部，和/或，用于密封第二螺紋部與第二轉接段的第四密封部。

在本實用新型的一個實施例中，濾芯部包括：殼體，殼體可拆卸地設置在容納腔內，殼體具有安裝腔；過濾層，過濾層為多個，多個過濾層沿安裝腔的延伸方向間隔設置。