[實用新型]一種全自動ITO蝕刻機

有效

• 申請號: 201920996159.1
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN210817973U
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 陶雄兵;周欣;徐俊南;賴程飛;李萬朋;嚴達榮;但春果;錢建宣
• 申請（專利權）人: 鞍山盛雄激光設備有限公司
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 黃忠;沈闖

本申請提供了一種全自動ITO蝕刻機，包括：立柱，固定于所述立柱上的Z軸升降組件；所述Z軸升降組件上方固定有激光器座，并與工作平臺固定連接；所述激光器座中設有兩個激光器；所述立柱還固定連接支撐平臺，所述支撐平臺設有XY軸工作滑臺；所述XY軸工作滑臺位于所述Z軸升降組件下方；通過取料立柱固定在所述支撐平臺上的基板，所述基板兩端設有取料組件、下料組件、與所述取料組件連接的上料同步帶和與所述下料組件連接的下料同步帶。本申請提供的一種全自動ITO蝕刻機，能夠實現取放料的自動化，有效提高加工的效率，并且加工的精度高。

技術領域

本申請屬于激光蝕刻技術領域，尤其涉及一種全自動ITO蝕刻機。

背景技術

隨著激光蝕刻的技術應用越來越廣泛，激光蝕刻機在電阻式、電容式觸摸屏銀漿線路蝕刻和修復；ITO及各類金屬導電膜線路激光蝕刻；PCB行業薄膜電路光刻掩膜板激光蝕刻成型；太陽能光伏硅基板薄膜電路蝕刻等多個領域廣泛應用。但是現在市面上的蝕刻機都采用單個工位加工，需要工作人員分別對蝕刻機手動上下料，在加工時效率低，并且人力成本較大。

實用新型內容

有鑒于此，本申請提供了一種全自動ITO蝕刻機，通過雙激光器光路，能夠同時讓兩個激光器進行加工，組成兩個加工工位，通過高精度的直線電機運動平臺和自動取放料裝置，能夠實現取放料的自動化，有效提高加工的效率，并且加工的精度高。

本申請提供了一種全自動ITO蝕刻機，包括：

立柱，固定于支撐平臺上，上面固定有激光器系統；

所述激光器系統中設有兩個激光器；

所述支撐平臺上設有XY軸工作滑臺；

所述XY軸工作滑臺位于所述Z軸升降組件下方，所述Z軸升降組件上設有工作平臺；

通過取料立柱固定在所述支撐平臺上的基板，所述基板兩端設有取料組件、下料組件、與所述取料組件連接的上料同步帶和與所述下料組件連接的下料同步帶；

優選地，所述取料組件具體包括取料吸盤、取料氣缸和取料固定塊；

所述取料固定塊固定連接所述基板，下方固定有所述取料氣缸；

所述取料氣缸下方固定有所述取料吸盤。

優選地，所述下料組件具體包括下料吸盤、下料氣缸和下料固定塊；

所述下料固定塊固定連接所述基板，下方固定有所述下料氣缸；

所述下料氣缸下方固定有所述下料吸盤。

優選地，還包括機架，所述機架朝向工作平臺的一側設有第一橫移氣缸和垂直氣缸；

所述垂直氣缸固定于所述第一橫移氣缸上方，與所述第一橫移氣缸的一端固定，所述垂直氣缸通過連接板連接有吸盤。

優選地，所述機架內置有第二橫移氣缸。

優選地，所述機架兩側面分別設有兩個料盒Z軸，所述兩個料盒Z軸分別垂直于所述第二橫移氣缸。

優選地，所述第二橫移氣缸上設有可移動的料盤接收盤。

優選地，所述機架的上表面設有第一料盤組和第二料盤組，所述第一料盤組可下落至所述料盤接收盤上。

優選地，所述機架的一側固定有備料組件。

優選地，所述立柱的材料具體為大理石。