[實用新型]一種具有檢測功能的間歇臺

有效

• 申請號: 201920966521.0
• 申請日: 2019-06-26
• 公開（公告）號: CN210261988U
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發明（設計）人: 李丙科
• 申請（專利權）人: 無錫松煜科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

本實用新型提供一種具有檢測功能的間歇臺，包括感應盒，所述感應盒前端固定安裝固定臂，所述感應盒后端轉動安裝懸臂，所述懸臂后端延伸至感應盒后側，且懸臂上端后側邊緣處固定舟座，所述舟座右端面安裝有兩組凸輪，所述感應盒內部設有空腔，所述懸臂前端下側邊緣處設有觸碰端，所述觸碰端伸入空腔內，所述空腔內部設有微動開關、彈簧以及彈簧頂塊，所述微動開關安裝在空腔內部中下側，且微動開關與外接檢測電路相連接，所述彈簧一端固定在觸碰端上端，且彈簧另一端固定在彈簧頂塊下端，所述彈簧頂塊固定在空腔內部前側，與現有技術相比，本實用新型具有如下的有益效果：實現微動開關隱藏，延長微動開關的使用壽命，冷卻方式簡單。

技術領域

本實用新型是一種具有檢測功能的間歇臺，屬于氣相沉積設備領域。

背景技術

LPCVD設備是在低壓高溫條件下，通過混合氣體的化學反應生產固體反應物并使其沉積在硅片表面形成薄膜的化學氣相沉積設備，LPCVD中的間歇臺用于臨時承載石英舟，通過觸碰微動開關檢測石英舟是否已經放在凸輪上，但微動開關一般固定在感應盒下部的凸輪處，石英舟從爐體取出后溫度較高，微動開關容易受高溫影響損壞失靈，占用了較多的空間，并且原有的間歇臺采用自然冷卻或風扇冷卻的方式，存在冷卻速度慢或占用體積大等問題。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型目的是提供一種具有檢測功能的間歇臺，實現微動開關隱藏，延長微動開關的使用壽命，冷卻方式簡單。

為了實現上述目的，本實用新型的技術方案如下：

一種具有檢測功能的間歇臺，包括兩組承載組件，兩組所述承載組件通過氮氣冷卻管相連接，所述承載組件包括感應盒，所述感應盒前端固定安裝固定臂，所述感應盒后端轉動安裝懸臂，所述懸臂后端延伸至感應盒后側，且懸臂上端后側邊緣處固定舟座，所述舟座右端面安裝有兩組凸輪，所述感應盒內部設有空腔，所述懸臂前端下側邊緣處設有觸碰端，所述觸碰端伸入空腔內，所述空腔內部設有微動開關、彈簧以及彈簧頂塊，所述微動開關安裝在空腔內部中下側，且微動開關與外接檢測電路相連接，所述彈簧一端固定在觸碰端上端，且彈簧另一端固定在彈簧頂塊下端，所述彈簧頂塊固定在空腔內部前側。

進一步地，所述感應盒前端開設方形槽，所述方形槽和空腔相通，且方形槽內通過內六角螺栓安裝有感應盒蓋板。

進一步地，所述感應盒后端開設凹槽，所述懸臂前端安插在凹槽內，且懸臂通過轉軸和深溝球軸承與感應盒相連接。

進一步地，所述凸輪通過套管連接軸與舟座相連接，且凸輪前端安裝軸端擋板，所述凸輪外表面通過O型圈安裝石英套管。

進一步地，所述懸臂上開設有定位孔，所述氮氣冷卻管一端穿過定位孔并安裝有卡套堵頭。

進一步地，所述感應盒左端面下側開設有螺紋孔，所述懸臂左端面下側開設有限位孔，所述螺紋孔和限位孔中心線相重合，所述螺紋孔內嚙合右螺栓，且螺栓穿過螺紋孔并延伸至限位孔內。

本實用新型的有益效果：本實用新型的一種具有檢測功能的間歇臺，本實用新型利用空腔為微動開關提供隱藏空間，實現微動開關的隱藏設置，不僅方便維修和走線，還節約了一部分空間，降低了微動開關與石英舟距離較近受熱失靈的概率，采用懸臂前端的觸碰端靠近微動開關的同時擠壓彈簧，使得彈簧在觸碰端與彈簧頂塊之間壓縮，從而彈簧的回彈力能夠方便觸碰端的自動歸位，使得觸碰端及時與微動開關分開，提高檢測準確性，在氮氣冷卻管內充入氮氣實現冷卻，冷卻方式簡單，節約空間。

因本實用新型添加了套管連接軸、軸端擋板以及石英套管，該設計實現對凸輪端部和外表面的保護，有利于延長凸輪的使用壽命，本實用新型實現微動開關隱藏，延長微動開關的使用壽命，冷卻方式簡單。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型的其它特征、目的和優點將會變得更明顯：