[實用新型]一種旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機控制系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920906378.6
• 申請日: 2019-06-14
• 公開（公告）號: CN210015349U
• 公開（公告）日: 2020-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 譚世唯
• 申請（專利權(quán)）人: 湖南新銳微電子科技有限公司
• 主分類號: G05B19/042
• 分類號: G05B19/042;G01D21/02
• 代理公司: 44205 廣州嘉權(quán)專利商標事務(wù)所有限公司
• 代理人: 肖云

本實用新型公開了一種旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機控制系統(tǒng)，包括電機、電機驅(qū)動器、編碼器、主控模塊、檢測單元、開關(guān)單元、閥門單元、加熱單元和用于供電的電源模塊，電機與電機驅(qū)動器相連，編碼器分別連接電機和電機驅(qū)動器，電機驅(qū)動器、檢測單元、開關(guān)單元和加熱單元分別與主控模塊相連。本技術(shù)方案通過主控模塊對電機的控制實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)甩干功能，通過主控模塊對加熱單元的控制實現(xiàn)烘干功能，通過檢測單元對主控模塊的反饋實現(xiàn)各項監(jiān)控功能，通過主控模塊對閥門單元的控制實現(xiàn)沖洗、加壓、自清潔功能，通過開關(guān)單元保證系統(tǒng)運行過程中的穩(wěn)定性和安全性；整套系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)對半導(dǎo)體晶片沖洗甩干過程的全自動控制，并且功能完善，對半導(dǎo)體晶片的清潔效果好。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及芯片清潔領(lǐng)域，具體的涉及一種旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體晶片在拋光和清洗工藝后，需做甩干處理，這需要用到甩干機。目前最常用的甩干方式是旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機，它的主要作用是通過高速旋轉(zhuǎn)快速脫水，可用于各種半導(dǎo)體晶片、砷化鎵材料、Ge材料、掩膜版、太陽能電池基片、藍寶石、鈮酸鋰、光學(xué)鏡片、磁盤、光盤、醫(yī)用玻璃基片等類似材料的高潔凈度沖洗甩干，是半導(dǎo)體濕法清洗工藝中必不可少的設(shè)備。

常規(guī)的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機的控制系統(tǒng)實現(xiàn)的功能不夠完善，無法做到對半導(dǎo)體晶片沖洗甩干過程的全自動控制，并且對半導(dǎo)體晶片的清潔效果不佳。

實用新型內(nèi)容

為了解決上述問題，本實用新型的目的是提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)全自動控制、功能完善的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機控制系統(tǒng)。

本實用新型采用的技術(shù)方案是：

一種旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機控制系統(tǒng)，包括：電機、電機驅(qū)動器、編碼器、主控模塊、檢測單元、開關(guān)單元、閥門單元、加熱單元和用于供電的電源模塊，所述電機與電機驅(qū)動器相連，所述編碼器分別連接電機和電機驅(qū)動器，所述電機驅(qū)動器、檢測單元、開關(guān)單元和加熱單元分別與主控模塊相連。

進一步的，所述檢測單元包括溫度檢測傳感器、電阻率測試儀、壓力傳感器，所述溫度檢測傳感器、電阻率測試儀、壓力傳感器分別與主控模塊相連。

進一步的，所述閥門單元包括沖洗閥、密封閥和吹凈閥，所述沖洗閥、密封閥和吹凈閥分別與主控模塊相連。

進一步的，所述加熱單元包括腔體加熱器和氦氣加熱器，所述腔體加熱器和氦氣加熱器分別與主控模塊相連。

進一步的，所述開關(guān)單元包括啟停開關(guān)、壓力開關(guān)、溫度限值開關(guān)，所述啟停開關(guān)、壓力開關(guān)、溫度限值開關(guān)分別與主控模塊相連。

進一步的，所述電機為交流永磁無刷電機。

進一步的，所述主控模塊為三菱FX5U。

進一步的，還包括觸摸屏，所述觸摸屏與主控模塊相連以用于顯示實時狀態(tài)。

進一步的，還包括除靜電模塊，所述除靜電模塊包括變壓器、高壓電源和兩個放電極，所述變壓器連接電源模塊，所述高壓電源與變壓器相連，所述高壓電源與兩個放電極相連以用于消除靜電。

本實用新型的有益效果在于：

本技術(shù)方案通過主控模塊對電機的控制實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)甩干功能，通過主控模塊對加熱單元的控制實現(xiàn)烘干功能，通過檢測單元對主控模塊的反饋實現(xiàn)電阻率監(jiān)控、溫度監(jiān)控、故障監(jiān)控的各項監(jiān)控功能，通過主控模塊對閥門單元的控制實現(xiàn)沖洗、加壓、內(nèi)部自清潔功能，通過開關(guān)單元保證系統(tǒng)運行過程中的穩(wěn)定性和安全性；整套系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)對半導(dǎo)體晶片沖洗甩干過程的全自動控制，并且功能完善，保證了清洗工作的高潔凈度沖洗甩干，對半導(dǎo)體晶片的清潔效果好。

附圖說明

圖1為本實用新型旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機控制系統(tǒng)的原理框圖；

圖2為本實用新型旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機控制系統(tǒng)的電路連接圖。