[實(shí)用新型]光伏電池背鈍化沉積裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920902433.4
• 申請(qǐng)日: 2019-06-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210085579U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳慶敏;吳曉松;劉敏星;李建新
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 無(wú)錫松煜科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C16/54
• 分類(lèi)號(hào): C23C16/54;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/40;H01L31/18
• 代理公司: 江蘇漫修律師事務(wù)所 32291
• 代理人: 周曉東;熊啟奎

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光伏電池背鈍化沉積裝置，具有一個(gè)主機(jī)室，主機(jī)室內(nèi)至少具有一個(gè)工藝腔室，工藝腔室一端通過(guò)爐口法蘭與腔室蓋緊密連接，另一端與外部的尾氣處理裝置連通，工藝腔室的壁層結(jié)構(gòu)是保護(hù)套管及石英襯管，或者是保護(hù)套管、石英管及石英襯管，在工藝腔室的端部設(shè)置有TMA進(jìn)氣口、笑氣進(jìn)氣口、硅烷進(jìn)氣口、氨氣進(jìn)氣口、氮?dú)膺M(jìn)氣口五個(gè)進(jìn)氣口，五個(gè)進(jìn)氣口均通入工藝腔室。本實(shí)用新型通過(guò)一臺(tái)設(shè)備設(shè)立多個(gè)工藝腔室，每個(gè)工藝腔室內(nèi)分時(shí)段先后實(shí)現(xiàn)氧化鋁(Al₂O₃)、氧化硅(SiO₂)、氮氧化硅（SiO_xN_y）、氮化硅(Si₃N₄)等多層鈍化膜或其中某幾種薄膜的鍍膜工藝，簡(jiǎn)化現(xiàn)有技術(shù)的多機(jī)設(shè)備或多腔室結(jié)構(gòu)，降低生產(chǎn)成本，使操作更加便捷，提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光伏電池制造設(shè)備領(lǐng)域，尤其是一種光伏電池背鈍化沉積裝置。

背景技術(shù)

太陽(yáng)能光伏電池是一種把太陽(yáng)的光能直接轉(zhuǎn)化為電能的新型電池。目前通常使用的是以硅為基底的硅光伏電池，包括單晶硅、多晶硅和非晶硅光伏電池。PERC電池（Passivated Emitter and Rear Cell，發(fā)射極和背面鈍化技術(shù)）是一種新型的光伏電池技術(shù)，PERC電池與常規(guī)電池最大的區(qū)別在于背表面介質(zhì)膜鈍化，采用局域金屬接觸，有效降低背表面的電子復(fù)合速度，同時(shí)提升了背表面的光反射。PERC電池背表面的有效鈍化是提升太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率的重要因素。目前較為成熟的鈍化膜材料包括氧化鋁(Al₂O₃)、氧化硅(SiO₂)、氮氧化硅（SiO_xN_y）、氮化硅(Si₃N₄)等，其中，氧化鋁(Al₂O₃)由于具備較高的電荷密度，可以對(duì)P型表面提供良好的鈍化，被廣泛應(yīng)用于PERC電池量產(chǎn)的背面鈍化材料。為了提升鈍化效果，多層鈍化膜結(jié)構(gòu)是一個(gè)重要的發(fā)展方向。

如圖1所示，目前能夠?qū)崿F(xiàn)多層鈍化膜的技術(shù)通常為ALD+PECVD或者改進(jìn)型PECVD，ALD（Atomic Layer Deposition，原子層沉積）用于氧化鋁3的原子層沉積，PECVD（PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）用于氮化硅1、氧化硅2等的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積，使用兩種設(shè)備分別進(jìn)行相應(yīng)的鈍化膜沉積是較為常見(jiàn)的生產(chǎn)技術(shù)，利用不同設(shè)備分別鍍膜成本高，制造工序復(fù)雜，生產(chǎn)效率低。改進(jìn)型PECVD是單臺(tái)設(shè)備上具有不同的腔室，不同腔室中發(fā)生不同反應(yīng)，硅片4在不同的腔室中分步進(jìn)行氧化鋁3、氧化硅2、氮化硅1等鈍化膜沉積，節(jié)省了在不同設(shè)備之間進(jìn)行流轉(zhuǎn)的時(shí)間，但設(shè)備結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，體積龐大，不利于維護(hù)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本申請(qǐng)人針對(duì)上述現(xiàn)有多層鈍化膜沉積設(shè)備存在的兩臺(tái)設(shè)備分別鍍膜或單臺(tái)設(shè)備兩個(gè)腔室分步鍍膜造成的設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高、體積大、操作繁瑣、生產(chǎn)效率低等缺點(diǎn)，提供了一種結(jié)構(gòu)合理的光伏電池背鈍化沉積裝置，能夠通過(guò)一臺(tái)設(shè)備單個(gè)工藝腔室先后實(shí)現(xiàn)沉積氧化鋁(Al₂O₃)、氧化硅(SiO₂)、氮氧化硅（SiO_xN_y）、氮化硅(Si₃N₄)薄膜或其中某幾種薄膜的鍍膜工藝，簡(jiǎn)化設(shè)備整體結(jié)構(gòu)，使操作更加便捷，提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。

本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案如下：

一種光伏電池背鈍化沉積裝置，具有一個(gè)主機(jī)室，主機(jī)室內(nèi)至少具有一個(gè)工藝腔室，工藝腔室一端通過(guò)爐口法蘭與腔室蓋緊密連接，另一端與外部的尾氣處理裝置連通，工藝腔室的壁層結(jié)構(gòu)是保護(hù)套管及石英襯管，或者是保護(hù)套管、石英管及石英襯管，在工藝腔室的端部設(shè)置有TMA進(jìn)氣口、笑氣進(jìn)氣口、硅烷進(jìn)氣口、氨氣進(jìn)氣口、氮?dú)膺M(jìn)氣口五個(gè)進(jìn)氣口，五個(gè)進(jìn)氣口均通入工藝腔室。