[實用新型]一種運行穩定且密封性能良好的晶體生長爐提拉頭

有效

• 申請號: 201920803681.3
• 申請日: 2019-05-30
• 公開（公告）號: CN210420253U
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 劉剛
• 申請（專利權）人: 成都晶九科技有限公司
• 主分類號: C30B15/30
• 分類號: C30B15/30
• 代理公司: 成都厚為專利代理事務所(普通合伙) 51255
• 代理人: 夏柯雙

1.一種運行穩定且密封性能良好的晶體生長爐提拉頭，包括上立柱（1）和滑座（2），其特征在于，所述的上立柱（1）的頂部設置有安裝板（101），上立柱（1）的底部設置有連接板（104），上立柱（1）上設置有滾珠絲杠（103）以及分布在滾珠絲杠（103）兩側的導軌（102），安裝板（101）上安裝有驅動滾珠絲杠（103）的步進電機（105），所述的導軌（102）以及滾珠絲杠（103）的布置方向與提拉頭的提拉方向一致，滑座（2）安裝在滾珠絲杠（103）上并在步進電機（105）的驅動下在滾珠絲杠（103）和導軌（102）上作往復的提拉運動；

所述的滑座（2）上面向上立柱（1）的一側設置有第一安裝槽（201）和第二安裝槽（202），滑座（2）中還設置有貫穿的第三安裝槽（203）；

所述的提拉頭還包括密封裝置（3），所述的密封裝置包括第一密封蓋（301）、第二密封蓋（302）以及第三密封蓋（303），第一密封蓋（301）安裝在第一安裝槽（201）中，第二密封蓋（302）安裝在第二安裝槽（202）中，第三密封蓋（303）安裝在第三安裝槽（203）中，其中，第一密封蓋（301）、第二密封蓋（302）、第三密封蓋（303）以及上立柱（1）形成一個將滾珠絲杠（103）和導軌（102）包圍的封閉空間。

2.根據權利要求1所述的一種運行穩定且密封性能良好的晶體生長爐提拉頭，其特征在于：所述的導軌（102）的數量不低于兩條。

3.根據權利要求1所述的一種運行穩定且密封性能良好的晶體生長爐提拉頭，其特征在于：所述的第三安裝槽（203）的方向與提拉頭的提拉方向一致。

4.根據權利要求1所述的一種運行穩定且密封性能良好的晶體生長爐提拉頭，其特征在于：所述的步進電機（105）和滾珠絲杠（103）之間設置有用于調速的變速齒輪箱（106）。

5.根據權利要求1所述的一種運行穩定且密封性能良好的晶體生長爐提拉頭，其特征在于：所述的滑座（2）上設置有與導軌（102）配合的滑槽（204）。

6.根據權利要求1所述的一種運行穩定且密封性能良好的晶體生長爐提拉頭，其特征在于：所述的第一密封蓋（301）和第二密封蓋（302）分別位于最邊緣處導軌（102）的外側。

7.根據權利要求1或6所述的一種運行穩定且密封性能良好的晶體生長爐提拉頭，其特征在于：所述的第一密封蓋（301）、第二密封蓋（302）以及第三密封蓋（303）的上端均與安裝板（101）連接，第一密封蓋（301）、第二密封蓋（302）以及第三密封蓋（303）的下端均與連接板（104）連接，第一密封蓋（301）、第二密封蓋（302）與上立柱（1）之間緊密接觸。

8.根據權利要求7所述的一種運行穩定且密封性能良好的晶體生長爐提拉頭，其特征在于：所述的第一密封蓋（301）和第二密封蓋（302）平行布置在滾珠絲杠（103）兩側。

9.根據權利要求1所述的一種運行穩定且密封性能良好的晶體生長爐提拉頭，其特征在于：所述的第一密封蓋（301）、第二密封蓋（302）以及第三密封蓋（303）的長度不低于滑座（2）的提拉行程長度。

10.根據權利要求1所述的一種運行穩定且密封性能良好的晶體生長爐提拉頭，其特征在于：所述的第三安裝槽（203）兩端設置有朝所述封閉空間延伸的邊槽（205），第三密封蓋（303）兩端設置有與邊槽（205）對應的邊沿蓋（304），邊沿蓋（304）卡接在邊槽（205）中。