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[實(shí)用新型]一種注凝成型熔融石英坩堝有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201920797341.4 申請日: 2019-05-30
公開(公告)號: CN210163544U 公開(公告)日: 2020-03-20
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 徐興喜;徐丙剛 申請(專利權(quán))人: 連云港晶沁石英制品有限公司
主分類號: C30B15/10 分類號: C30B15/10;C30B29/06
代理公司: 連云港聯(lián)創(chuàng)專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32330 代理人: 杜麗麗
地址: 222000 江蘇省連*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 凝成 熔融 石英 坩堝
【說明書】:

實(shí)用新型涉及坩堝技術(shù)領(lǐng)域,且公開了一種注凝成型熔融石英坩堝,包括石英坩堝,所述石英坩堝的左右兩側(cè)均固定連接有海綿層,兩個所述海綿層遠(yuǎn)離石英坩堝的一側(cè)固定安裝有外板,兩個所述外板的內(nèi)部均固定安裝有數(shù)量為兩個的活動軸,所述活動軸的內(nèi)部固定連接有外圈,所述外圈遠(yuǎn)離活動軸的一端固定安裝有固定塊,所述固定塊的內(nèi)部活動連接有固定桿,所述外圈的內(nèi)部固定安裝有軟橡膠,兩個所述外板的底部均固定連接有底座,所述底座的底部固定安裝有增阻墊。該注凝成型熔融石英坩堝,解決了石英質(zhì)脆,易破,使用時要注意,而現(xiàn)在的石英坩堝在運(yùn)輸過程中,沒有固定保護(hù)裝置,容易破裂的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及坩堝技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種注凝成型熔融石英坩堝。

背景技術(shù)

石英坩堝具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源和質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn),應(yīng)用越來越廣泛,石英坩堝的檢測工作是一個十分重要的環(huán)節(jié),而且石英坩堝的檢測朝向現(xiàn)場檢測方向發(fā)展,石英坩堝可在1450度以下使用,分透明和不透明兩種,用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料,當(dāng)今,世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝,他具有高純度、耐溫性強(qiáng)、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源和質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。

國內(nèi)常用拉制單晶硅用石英坩堝18英寸、20英寸、22英寸和22及以上的坩堝,目前國內(nèi)坩堝生產(chǎn)大廠家生產(chǎn)的坩堝技術(shù)都比較成熟,其生產(chǎn)使用原料石英砂由美國進(jìn)口和挪威高純石英砂兩種,但是石英質(zhì)脆,易破,使用時要注意,而現(xiàn)在的石英坩堝在運(yùn)輸過程中,沒有固定保護(hù)裝置,容易破裂,故而提出了一種注凝成型熔融石英坩堝來解決上述所提出的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問題

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型提供了一種注凝成型熔融石英坩堝,具備保護(hù)效果好等優(yōu)點(diǎn),解決了石英質(zhì)脆,易破,使用時要注意,而現(xiàn)在的石英坩堝在運(yùn)輸過程中,沒有固定保護(hù)裝置,容易破裂的問題。

(二)技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)上述保護(hù)效果好的目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種注凝成型熔融石英坩堝,包括石英坩堝,所述石英坩堝的左右兩側(cè)均固定連接有海綿層,兩個所述海綿層遠(yuǎn)離石英坩堝的一側(cè)固定安裝有外板,兩個所述外板的內(nèi)部均固定安裝有數(shù)量為兩個的活動軸,所述活動軸的內(nèi)部固定連接有外圈,所述外圈遠(yuǎn)離活動軸的一端固定安裝有固定塊,所述固定塊的內(nèi)部活動連接有固定桿,所述外圈的內(nèi)部固定安裝有軟橡膠,兩個所述外板的底部均固定連接有底座,所述底座的底部固定安裝有增阻墊,所述底座的內(nèi)部設(shè)置有載板,所述底座的內(nèi)底部固定安裝有連接塊,所述連接塊的內(nèi)部活動連接有連接板,所述連接板的頂部固定安裝有襯板,所述襯板靠近底座內(nèi)壁的一側(cè)固定連接有套板,所述套板的內(nèi)部固定連接有軸承,所述軸承的軸心處固定連接有螺紋桿。

優(yōu)選的,兩個所述固定塊的內(nèi)部均開設(shè)有固定口,所述固定桿通過左側(cè)固定塊的固定口與右側(cè)固定塊的固定口固定連接。

優(yōu)選的,所述底座的頂部開設(shè)有卡口,所述石英坩堝的底部通過卡口延伸至底座的內(nèi)部。

優(yōu)選的,所述襯板的數(shù)量為兩個,兩個所述襯板相對的一側(cè)均為弧面,所述襯板為塑膠軟板。

優(yōu)選的,所述套板和襯板的底部均與連接板的頂部固定連接,所述載板的頂部開設(shè)有限位槽,所述連接塊的頂部開設(shè)有滑槽,滑槽與連接板滑動連接。

優(yōu)選的,所述套板的內(nèi)部開設(shè)有放置槽,放置槽的內(nèi)部與軸承的外軸固定連接。

優(yōu)選的,所述底座的內(nèi)壁開設(shè)有螺紋孔,所述螺紋桿通過螺紋孔延伸至底座的外部,所述螺紋桿遠(yuǎn)離軸承的一側(cè)固定安裝有轉(zhuǎn)動桿。

(三)有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型提供了一種注凝成型熔融石英坩堝,具備以下有益效果:

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