[實用新型]一種硅棒粘膠固定裝置

有效

• 申請號: 201920787711.6
• 申請日: 2019-05-29
• 公開（公告）號: CN210525535U
• 公開（公告）日: 2020-05-15
• 發明（設計）人: 潘連勝;何翠翠;秦朗
• 申請（專利權）人: 錦州神工半導體股份有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04;B28D5/00
• 代理公司: 北京遠大卓悅知識產權代理事務所(普通合伙) 11369
• 代理人: 周婷

本實用新型公開了一種硅棒粘膠固定裝置。包括：底板；弧面托架，其設置在所述底板的上方,用于承托硅柱；以及緩沖裝置，其設置在所述弧面托架與底板之間，用于緩沖硅棒下落過程中對底板的沖擊；多組夾持裝置，其分別設置在所述弧面托架的兩側，用于相互配合夾持硅柱；其中，所述緩沖裝置包括；一對第一滑軌，其并列設置在所述底板上；一對第一滑塊，其分別設置在第一滑軌上；連接板，其兩側分別與第一滑塊連接；多個阻尼減震器，其下端分別設置在所述連接板上，阻尼減震器的上端與所述弧面托架連接，用于彈性支撐所述弧面托架。本實用新型的有益效果是：設有緩沖裝置，能夠避免硅棒與墊板間產生相對滑動。

技術領域

本實用新型涉及單晶硅片制造領域，特別涉及一種硅棒粘膠固定裝置。

背景技術

單晶硅是硅的單晶體，是一種具有基本完整的點陣結構的晶體。不同的方向具有不同的性質，是一種良好的半導材料。純度要求達到99.9999％，甚至達到99.9999999％以上。用于制造半導體器件、太陽能電池等。用高純度的多晶硅在單晶爐內拉制而成。

硅柱的處理過程有一步粘膠工藝，在此過程中，硅棒自高出落下，掉落下盛有膠液的墊板，利用重力的沖擊使硅柱與墊板粘結。在現有工藝中，將墊板放置在一個水平臺面上，硅棒自上方落下，由于硅棒重力較大，與水平臺面間的沖量也很大，致使硅棒與墊板之間產生相對滑動，從而致使硅棒與墊板粘結效果不佳。

因此，一種能夠緩沖硅棒下落過程中沖擊的運送車成為解決問題的關鍵。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種硅棒粘膠固定裝置，其設有緩沖裝置，能夠避免硅棒與墊板間產生相對滑動。

本實用新型還有一個目的在于提供一種硅棒粘膠固定裝置，在粘膠過程中，能夠夾持和固定硅棒。

為實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案，包括：

底板；

弧面托架，其設置在所述底板的上方,用于承托硅柱；以及

緩沖裝置，其設置在所述弧面托架與底板之間，用于緩沖硅棒下落過程中對底板的沖擊；

多組夾持裝置，其分別設置在所述弧面托架的兩側，用于相互配合夾持硅柱；

其中，所述緩沖裝置包括；

一對第一滑軌，其并列設置在所述底板上；

一對第一滑塊，其分別設置在第一滑軌上；

連接板，其兩側分別與第一滑塊連接；

多個阻尼減震器，其下端分別設置在所述連接板上，阻尼減震器的上端與所述弧面托架連接，用于彈性支撐所述弧面托架。

優選的是，還包括：

通孔，其縱向設置在所述第一滑塊上；

第一限位連桿，其沿所述第一滑軌軸向設置位于所述第一滑軌的上方，并穿過所述通孔；

第一壓縮彈簧，其分別設置在所述第一限位連桿的兩端，一端與所述第一滑軌端部相抵接，另一端與所述第一滑塊端面相抵接。

優選的是，還包括：

多個貫通孔，其橫向均布在所述第一滑軌和第一滑塊上；

U型限位銷，其銷柱選擇性地穿過所述貫通孔，用于將所述第一滑軌和第一滑塊的位置固定；

其中，在所述銷柱端部設有外螺紋，通過螺母將所述U型限位銷固定。

優選的是，所述夾持裝置包括：

一對立柱，其鏡像設置在所述弧面托架的兩側，在所述立柱的頂端，設有向內彎曲的延伸部；