[實用新型]一種適用于拋光機的拋光液及純水供應管路

有效

• 申請號: 201920773233.3
• 申請日: 2019-05-27
• 公開（公告）號: CN210255747U
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發明（設計）人: 郭光燦;馬龍峰;賈波;范強
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 王學鵬

1.一種適用于拋光機的拋光液及純水供應管路，其特征在于，包括純水拋光系統和拋光液拋光系統和主管道（1），所述純水拋光系統包括第一管道（2）和與所述第一管道（2）并聯的第二管道（3），所述第一管道（2）上設置有大流量氣動閥（4），所述第二管道（3）上設置有小流量氣動閥（5），第一管道（2）和第二管道（3）上還分別設置有相配合使用的第一手動調節閥（6），純水分別通過純水大流量氣動閥（4）和小流量氣動閥（5）匯入設置有第一流量計（7）的第三管道（8）；所述拋光液拋光系統包括第四管道（9）和設置在所述第四管道（9）上的拋光液調節閥（10）和第一單向閥（11）；所述第三管道（8）和第四管道（9）匯入所述主管道（1），主管道（1）上設置有主氣動閥（12）、第二流量計（13）和第一溫度探頭（14）。

2.如權利要求1所述的一種適用于拋光機的拋光液及純水供應管路，其特征在于：所述第一管道（2）的延伸部一端連接純水水源，并通過設置在延伸部的純水調節閥（15）進行導流和截流。

3.如權利要求1所述的一種適用于拋光機的拋光液及純水供應管路，其特征在于：所述主管道（1）的尾端連接有主轉盤中心（16）。

4.如權利要求3所述的一種適用于拋光機的拋光液及純水供應管路，其特征在于：拋光液拋光時，拋光液經第四管道（9）和主管道（1）進入主轉盤中心（16）。

5.如權利要求3所述的一種適用于拋光機的拋光液及純水供應管路，其特征在于：純水拋光包括純水刷布、純水裝載和純水卸載，純水刷布時，純水經第一管道（2）和第三管道（8）進入主管道（1）并最終流入主轉盤中心（16），通過大流量氣動閥（4）控制純水流量以實現對主管道（1）進行沖洗；純水裝載和純水卸載時，純水經第二管道（3）和第三管道（8）進入主管道（1）并最終流入主轉盤中心（16），通過小流量氣動閥（5）控制純水流量以實現對主管道（1）進行沖洗。

6.如權利要求1所述的一種適用于拋光機的拋光液及純水供應管路，其特征在于：所述第三管道（8）上還設置有用于檢測純水溫度的第二溫度探頭（17）和第二單向閥（18）。

7.如權利要求6所述的一種適用于拋光機的拋光液及純水供應管路，其特征在于：所述第一溫度探頭（14）和第二溫度探頭（17）均采用型號為PT100的溫度探頭。