[實用新型]一種引線框架的銅帶的垂直曝光系統

有效

• 申請號: 201920771772.3
• 申請日: 2019-05-27
• 公開（公告）號: CN209911755U
• 公開（公告）日: 2020-01-07
• 發明（設計）人: 朱春陽;劉松源;黃偉;李昌文;徐治;陳迅;馬偉凱;劉琪
• 申請（專利權）人: 山東新恒匯電子科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/67
• 代理公司: 37223 淄博佳和專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 孫愛華

一種引線框架的銅帶的垂直曝光系統，屬于半導體生產技術領域。其特征在于：在暗箱（9）的兩側分別設置有進料輪（2）和收料輪（15），在暗箱（9）與進料輪（2）和收料輪（15）之間分別設置自由進料緩沖機構和收料緩沖機構，銅帶（1）自進料輪（2）輸出后經過進料緩沖機構后自暗箱（9）正上方的入口豎直進入暗箱（9）曝光；在暗箱（9）的正下方設置有動力輪組（11），銅帶（1）曝光完成自暗箱（9）正下方的出口輸出后經過動力輪組（11）以及收料緩沖機構后在收料輪（15）表面纏繞。在本引線框架的銅帶的垂直曝光系統中，銅帶豎直進入暗箱內進行曝光，避免了水平曝光時微塵降落到銅帶表面形成沙孔弊端，提高了產品品質。

技術領域

一種引線框架的銅帶的垂直曝光系統，屬于半導體生產技術領域。

背景技術

引線框架作為集成電路的芯片載體，是一種借助于鍵合材料（金絲、鋁絲、銅絲）實現芯片內部電路引出端與外引線的電氣連接，形成電氣回路的關鍵結構件，它起到了和外部導線連接的橋梁作用。引線框架的原材料是銅帶，在引線框架的生產過程中，首先需要對銅帶進行壓膜，使感光膜貼合在銅帶表面，然后使用曝光機對銅帶進行曝光操作，其原理是通過曝光機，利用光照成形原理將模具上的圖形轉移到感光干膜上。傳統的曝光機在對銅帶的進行曝光時一般為水平曝光方式，即銅帶在傳送裝置的引導下水平經過曝光機完成曝光。

雖然一般情況下引線框架的生產車間為無塵環境，但是機器工作時產生的微塵不可避免的會落到銅帶的表面，一旦有微塵降落到銅帶表面，在經過曝光之后會在銅帶表面形成沙孔，嚴重影響產品的品質。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題是：克服現有技術的不足，提供一種銅帶豎直進入暗箱內進行曝光，避免了水平曝光時微塵降落到銅帶表面形成沙孔弊端，提高了產品品質的引線框架的銅帶的垂直曝光系統。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：該引線框架的銅帶的垂直曝光系統，其特征在于：包括暗箱，在暗箱的兩側分別設置有進料輪和收料輪，在暗箱與進料輪之間設置有進料緩沖機構，在暗箱與收料輪之間設置有收料緩沖機構，待曝光的銅帶自進料輪輸出后經過進料緩沖機構后自暗箱正上方的入口豎直進入暗箱曝光；

在暗箱的正下方設置有動力輪組，銅帶曝光完成自暗箱正下方的出口輸出后經過動力輪組以及收料緩沖機構后在收料輪表面纏繞。

優選的，所述的進料緩沖機構包括進料張力氣缸，進料張力氣缸的輸出端豎直向下，在進料張力氣缸的正下方設置有進料緩沖輪，所述銅帶自進料緩沖輪下方繞過；

進料張力氣缸的輸出軸與進料緩沖輪的輪軸固定連接，在進料緩沖輪的前后兩側設置有一組進料緩沖輪導軌，進料緩沖輪沿進料緩沖輪導軌上下移動。

優選的，在所述的進料緩沖輪導軌上自上而下依次設置有與進料緩沖輪配合觸發的進料上限位置感應器、進料工作位置感應器以及進料下限位置感應器，其中進料上限位置感應器位于進料緩沖輪的上部，進料工作位置感應器和進料下限位置感應器位于進料緩沖輪的下部。

優選的，所述的收料緩沖機構包括收料張力氣缸，收料張力氣缸的輸出端豎直向下，在收料張力氣缸的正下方設置有收料緩沖輪，所述銅帶自收料緩沖輪下方繞過；

收料張力氣缸的輸出軸與收料緩沖輪的輪軸固定連接，在收料緩沖輪的前后兩側設置有一組收料緩沖輪導軌，收料緩沖輪沿收料緩沖輪導軌上下移動。

優選的，在所述收料緩沖輪導軌上自上而下依次設置有與收料緩沖輪配合觸發的收料上限位置感應器、收料工作位置感應器以及收料下限位置感應器，其中收料上限位置感應器位于收料緩沖輪的上部，收料工作位置感應器和收料下限位置感應器位于收料緩沖輪的下部。

優選的，在所述的暗箱內設置有一組曝光光源，兩個曝光光源的發光側相對設置，在兩個曝光光源的發光側分別豎直設置有一個底片，兩個底片間隔設置，銅帶自兩個底片之間穿過。