[實用新型]一種改進型固晶機有效
| 申請號: | 201920734434.2 | 申請日: | 2019-05-21 |
| 公開(公告)號: | CN209747476U | 公開(公告)日: | 2019-12-06 |
| 發明(設計)人: | 龔文;羅志軍;劉輕舟 | 申請(專利權)人: | 蘇州晶臺光電有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L33/48 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215600 江蘇省蘇州市張家*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 晶片 轉動 放置臺 改進型 固晶機 驅動輪 萬向球 工作臺 擺臂 滑軌 頂針 本實用新型 外部控制器 安裝效率 部件放置 固晶裝置 活動安裝 角度轉動 快速安裝 內部固定 內部設置 配合安裝 球形形狀 驅動裝置 擺動 移動 補正 固晶 吸針 配合 驅動 | ||
1.一種改進型固晶機,包括工作臺(1),其特征在于:所述工作臺(1)的內部固定安裝有滑軌(2),所述滑軌(2)的內部活動安裝有固晶臺(3),所述固晶臺(3)的內部活動安裝有萬向球(4),所述萬向球(4)的頂部活動安裝有頂針(5),所述頂針(5)的上方固定安裝有擴晶片(6),所述萬向球(4)的下方固定安裝有第一驅動輪(7),所述第一驅動輪(7)的右上方固定安裝有第二驅動輪(8),所述工作臺(1)的頂部固定安裝有光柵尺(9),所述光柵尺(9)的一端電性連接有解碼器(10),所述工作臺(1)的頂部活動安裝有擺臂(11),所述擺臂(11)的底部固定安裝有吸針(12),所述光柵尺(9)的上方活動安裝有放置臺(13)。
2.根據權利要求1所述的一種改進型固晶機,其特征在于:所述放置臺(13)的安裝方向與光柵尺(9)的安裝方向相垂直。
3.根據權利要求1所述的一種改進型固晶機,其特征在于:所述放置臺(13)的安裝位置位于吸針(12)的正下方。
4.根據權利要求1所述的一種改進型固晶機,其特征在于:所述擴晶片(6)的形狀為半球體,上述半球體的弧度為五分之一П。
5.根據權利要求1所述的一種改進型固晶機,其特征在于:所述第一驅動輪(7)活動安裝于萬向球(4)的正下方,所述第一驅動輪(7)的側壁與萬向球(4)的外表面相接觸。
6.根據權利要求1所述的一種改進型固晶機,其特征在于:所述第二驅動輪(8)的安裝方向垂直于第一驅動輪(7)的安裝方向,所述第二驅動輪(8)的側壁與萬向球(4)的外表面相接觸。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





