[實用新型]在線陽光控制膜鍍膜系統用硅烷匯流排

有效

• 申請號: 201920705100.2
• 申請日: 2019-05-16
• 公開（公告）號: CN209926021U
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發明（設計）人: 王鳳磊;龍天;趙曉偉;周琳琳
• 申請（專利權）人: 秦皇島玻璃工業研究設計院有限公司
• 主分類號: F17D1/04
• 分類號: F17D1/04;F17D3/01;F17D5/00;B08B9/032;B08B9/035;C03C17/245
• 代理公司: 11322 北京尚誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 趙永麗;魯兵

1.一種在線陽光控制膜鍍膜系統用硅烷匯流排，其特征在于，包括作為高壓管路的硅烷氣供氣通道、作為低壓管路的配氣架連接管路(03)、用于連通高壓管路與低壓管路的減壓管路(06)、抽真空裝置(05)以及真空切換開關組(04)，其中，硅烷氣供氣通道和減壓管路(06)分別與抽真空裝置(05)連通，各連接管路上分別設有真空切換開關組成真空切換開關組(04)，用于切換硅烷氣供氣通道、減壓管路(06)與抽真空裝置(05)的通斷。

2.根據權利要求1所述的在線陽光控制膜鍍膜系統用硅烷匯流排，其特征在于，所述減壓管路(06)包括兩路互為備份的減壓通道，分別為串接有第一減壓器(10)的第一減壓通道和串接有第二減壓器(21)的第二減壓通道，兩路減壓通道的高壓端相連接、低壓端相連接，其高壓端與硅烷氣供氣通道連接，低壓端與配氣架連接管路(03)連接；兩個減壓通道能夠切換使用。

3.根據權利要求2所述的在線陽光控制膜鍍膜系統用硅烷匯流排，其特征在于，所述硅烷氣供氣通道設有兩個，分別為第一硅烷氣供氣通道(01)和第二硅烷氣供氣通道(02)，所述第一硅烷氣供氣通道(01)和第二硅烷氣供氣通道(02)結構相同且對稱設置。

4.根據權利要求1至3任一項所述的在線陽光控制膜鍍膜系統用硅烷匯流排，其特征在于，所述硅烷氣供氣通道包括硅烷集氣架，硅烷集氣架上集中布置有多個硅烷氣瓶，該多個硅烷氣瓶的出口均與硅烷集氣架內的集氣管路相連通，集氣管路的入口連通氮氣接入管路，該氮氣接入管路連接高壓氮氣源，氮氣接入管路還串接氮氣清洗閥和單向閥；集氣管路的出口通過硅烷氣供氣管路、減壓管路(06)連接配氣架連接管路(03)，硅烷氣供氣管路上設有供氣閥、壓力真空表和單向閥。

5.根據權利要求1至3任一項所述的在線陽光控制膜鍍膜系統用硅烷匯流排，其特征在于，所述配氣架連接管路(03)上依次串接有閥門二十三(23)、第三壓力真空表(24)、供氣閥(25)和用于連接配氣架的配氣架接口(26)。

6.根據權利要求1至3任一項所述的在線陽光控制膜鍍膜系統用硅烷匯流排，其特征在于，所述抽真空裝置(05)包括一引流抽真空機構(32)，引流抽真空機構(32)內部設有錐形空腔(321)，錐形空腔(321)的大端開口處設有大端直管(323)，錐形空腔(321)的小端開口處設有小端直管(324)，錐形空腔(321)內部設一引流管(322)，該引流管位于錐形空腔(321)內的管口朝向小端直管(324)，引流管(322)伸出錐形空腔(321)的一端連接接入高壓高純氮氣；引流抽真空機構(32)的大端直管(323)分別連接第一硅烷氣供氣通道(01)、第二硅烷氣供氣通道(02)和配氣架連接管路(03)。

7.根據權利要求4所述的在線陽光控制膜鍍膜系統用硅烷匯流排，其特征在于，所述抽真空裝置(05)包括一引流抽真空機構(32)，引流抽真空機構(32)內部設有錐形空腔(321)，錐形空腔(321)的大端開口處設有大端直管(323)，錐形空腔(321)的小端開口處設有小端直管(324)，錐形空腔(321)內部設一引流管(322)，該引流管位于錐形空腔(321)內的管口朝向小端直管(324)，引流管(322)伸出錐形空腔(321)的一端連接接入高壓高純氮氣；引流抽真空機構(32)的大端直管(323)分別連接第一硅烷氣供氣通道(01)、第二硅烷氣供氣通道(02)和配氣架連接管路(03)。

8.根據權利要求6所述的在線陽光控制膜鍍膜系統用硅烷匯流排，其特征在于，所述引流抽真空機構(32)的小端直管(324)連接廢氣輸出管路(052)，廢氣輸出管路(052)上依次串接有閥門三十三(33)和水封出口(34)。