[實用新型]手動貼膜裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920681727.9
• 申請日: 2019-05-14
• 公開（公告）號: CN209903936U
• 公開（公告）日: 2020-01-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王云翔;冒薇;段仲偉;馬冬月;許愛玲;李曉帥
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州美圖半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號: B29C63/02
• 分類號: B29C63/02;B29C63/00
• 代理公司: 32288 南京思拓知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 苗建

本實用新型涉及一種貼膜裝置，尤其是一種手動貼膜裝置，屬于MEMS的技術(shù)領(lǐng)域。按照本實用新型提供的技術(shù)方案，所述手動貼膜裝置，包括用于支撐襯底并能對所支撐的襯底進行加熱的加熱器，所述加熱器位于機殼的頂部，在加熱器上設(shè)有清潔保護膜，在機殼上還設(shè)置用于支撐膜的膜架，所述膜架位于位加熱器的外圈，通過貼膜滾輪能將膜架上的膜貼在加熱器上的襯底上。本實用新型結(jié)構(gòu)緊湊，能有效避免在加熱器上產(chǎn)生殘留膠液，提高襯底受熱的均勻性，確保膜與襯底的結(jié)合強度，適應(yīng)方便，安全可靠。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種貼膜裝置，尤其是一種手動貼膜裝置，屬于MEMS的技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

在MEMS領(lǐng)域，經(jīng)常會用到襯底貼膜工藝，有一部分貼膜工藝需要在固定溫度下進行。傳統(tǒng)貼膜機貼膜時加熱器表面會大量的膠殘留，且很難清理。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種手動貼膜裝置，其結(jié)構(gòu)緊湊，能有效避免在加熱器上產(chǎn)生殘留膠液，提高襯底受熱的均勻性，確保膜與襯底的結(jié)合強度，適應(yīng)方便，安全可靠。

按照本實用新型提供的技術(shù)方案，所述手動貼膜裝置，包括用于支撐襯底并能對所支撐的襯底進行加熱的加熱器，所述加熱器位于機殼的頂部，在加熱器上設(shè)有清潔保護膜，在機殼上還設(shè)置用于支撐膜的膜架，所述膜架位于位加熱器的外圈，通過貼膜滾輪能將膜架上的膜貼在加熱器上的襯底上。

在所述機殼的頂部設(shè)置能與加熱器適配的加熱器隔熱板，加熱器置于所述加熱器隔熱板內(nèi)，在加熱器內(nèi)設(shè)置若干真空吸附孔，所述清潔保護膜為特氟龍薄膜。

在所述機殼的底部設(shè)置若干均勻分布的可調(diào)腳座，在機殼內(nèi)設(shè)置用于支撐加熱器隔熱板的隔熱板支撐柱，所述加熱器隔熱板采用特氟龍材料制成。

所述膜架包括對稱分布的擺臂，所述擺臂的第一端通過擺臂轉(zhuǎn)軸與機殼上的擺臂支撐塊鉸接，兩根擺臂的第二端通過擺臂連接桿連接，所述擺臂的第二端還支撐在彈性頂銷上，所述彈性頂銷的一端與擺臂連接，彈性頂銷的另一端與機殼內(nèi)的導(dǎo)向套適配連接；

所述貼膜滾輪能置于兩根擺臂上，貼膜滾輪能在擺臂上滾動，且貼膜滾輪在擺臂上由擺臂的第一端滾動至擺臂的第二端時，通過貼膜滾輪能將擺臂上的膜壓貼在襯底上，且兩擺臂的第二端能逐漸靠近機殼的頂部表面。

在機殼的頂部還設(shè)置能對加熱器的電源線接頭進行保護的加熱器防護板。

在所述擺臂上設(shè)置若干能將膜的邊緣固定在擺臂上的磁吸體。

在機殼上還設(shè)置溫控儀、真空表以及真空開關(guān)。

所述貼膜滾輪采用不銹鋼制成，貼膜滾輪安裝于滾輪操作架上。

本實用新型的優(yōu)點：加熱器通過加熱器隔熱板設(shè)置在機殼的頂部，在加熱器上設(shè)置清潔保護膜，清潔保護膜采用特氟龍制成，利用清潔保護膜能方便對加熱器進行清潔，利用加熱器內(nèi)的真空吸附孔能將襯底吸附在加熱器上，提高襯底與加熱器的貼合度，確保襯底受熱均勻，提高膜與襯底貼合的強度，使用方便，安全可靠。

附圖說明

圖1為本實用新型的立體圖。

圖2為本實用新型貼膜前的示意圖。

圖3為本實用新型貼膜過程中的示意圖。

圖4為本實用新型完成貼膜后的示意圖。

附圖標記說明：1-擺臂連接桿、2-磁吸體、3-擺臂、4-彈性頂銷、5-機殼、6-加熱器隔熱板、7-清潔保護膜、8-擺臂支撐塊、9-擺臂轉(zhuǎn)軸、10-可調(diào)腳座、11-真空開關(guān)、12-真空表、13-溫控儀、14-貼膜滾輪、15-加熱器防護板、16-襯底、17-膜、18-加熱器、19-導(dǎo)向套、20-隔熱板支撐柱、21-滾輪操作架以及22-真空吸附孔。

具體實施方式