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[實用新型]納米線柵結構和熒光各向異性增強裝置有效

專利信息
申請號: 201920672709.4 申請日: 2019-05-10
公開(公告)號: CN210072117U 公開(公告)日: 2020-02-14
發明(設計)人: 韓春蕊;齊月靜;王宇;葉劍挺 申請(專利權)人: 中國科學院微電子研究所
主分類號: G02B5/00 分類號: G02B5/00
代理公司: 11619 北京辰權知識產權代理有限公司 代理人: 佟林松
地址: 100029 *** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 納米線柵 熒光 熒光增強 調制 表面等離激元 本實用新型 結構參數 平行排布 條狀結構 線柵寬度 線柵周期 熒光材料 熒光信號 增強裝置 周期控制 自發輻射 場增強 超材料 局域場 共振 超強 光場 偏振 線寬 線柵 小模
【權利要求書】:

1.一種納米線柵結構,其特征在于,所述納米線柵結構為多個條狀結構線柵平行排布形成,且其結構參數為:線柵周期300-800納米,線柵寬度50-400納米。

2.根據權利要求1所述的納米線柵結構,其特征在于,所述多個條狀結構線柵厚度為40-60納米。

3.根據權利要求1所述的納米線柵結構,其特征在于,所述多個條狀結構線柵的材料為金屬納米結構超材料,且所述金屬納米結構超材料為金、銀或鋁材料。

4.一種熒光各向異性增強裝置,其特征在于,包括自下而上依次設置的高導電襯底(1)、絕緣層(2)、熒光層(3)、透光介質層(4)和納米線柵結構(5),并且所述納米線柵結構(5)為權利要求1-2任一項所述的納米線柵結構。

5.根據權利要求4所述的熒光各向異性增強裝置,其特征在于,所述高導電襯底(1)為金屬或者高摻雜硅襯底。

6.根據權利要求4所述的熒光各向異性增強裝置,其特征在于,所述絕緣層(2)為二氧化硅層。

7.根據權利要求4所述的熒光各向異性增強裝置,其特征在于,所述熒光層(3)為單層二維半導體。

8.根據權利要求7所述的熒光各向異性增強裝置,其特征在于,所述單層二維半導體為過渡金屬硫族化合物原子層,所述過渡金屬硫族化合物表示為MX2,其中M=Mo或W;X=S、Se、Te;所述單層二維半導體厚度為0-0.6納米。

9.根據權利要求4所述的熒光各向異性增強裝置,其特征在于,所述透光介質層(4)為三氧化二鋁或二氧化硅層,厚度為10-40納米。

10.根據權利要求4所述的熒光各向異性增強裝置,其特征在于,所述熒光層(3)為有機熒光染料層;所述透光介質層(4)為聚甲基丙烯酸甲酯層。

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