[實用新型]激光二極管芯粒測試承載部及應用其的測試設備

有效

• 申請號: 201920641024.3
• 申請日: 2019-05-07
• 公開（公告）號: CN210109153U
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 王勝利;楊波
• 申請（專利權）人: 深圳市矽電半導體設備有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種激光二極管芯粒測試承載部，其特征在于：所述測試承載部（100）包括運動載料部（20）和第一調節部（30），所述運動載料部（20）與第一調節部（30）連接；

所述運動載料部（20）設置有真空吸附孔，所述真空吸附孔能夠將激光二極管芯粒吸附；

所述第一調節部（30）設置有直角內邊框調節塊（31），所述直角內邊框調節塊（31）能夠相對于激光二極管芯粒運動，使激光二極管芯粒沿垂直于真空吸附方向運動并沿直角邊適配。

2.根據權利要求1所述的激光二極管芯粒測試承載部，其特征在于：所述第一調節部（30）還包括，

升降調節部（32），所述直角內邊框調節塊（31）通過氣缸與升降調節部（32）連接，使直角內邊框調節塊（31）能夠相對于升降調節部（32）進行升降運動；

第一水平調節部（33），滑動連接于升降調節部（32）；

第二水平調節部（34），滑動連接于第一水平調節部（33）；第一水平調節部（33）相對于第二水平調節部（34）的運動方向垂直于升降調節部（32）相對于第一水平調節部（33）的運動方向。

3.根據權利要求1所述的激光二極管芯粒測試承載部，其特征在于：所述直角內邊框調節塊（31）包括矩形內孔，激光二極管芯粒能夠容納于所述矩形內孔。

4.根據權利要求1所述的激光二極管芯粒測試承載部，其特征在于：所述運動載料部（20）包括基體（21）和運動部（22），所述運動部（22）運動連接于基體（21），所述運動部（22）上設置有真空吸附孔。

5.根據權利要求4所述的激光二極管芯粒測試承載部，其特征在于：所述運動部（22）旋轉連接于所述基體（21）。

6.根據權利要求4所述的激光二極管芯粒測試承載部，其特征在于：所述運動部（22）滑動連接于所述基體（21）。

7.根據權利要求4所述的激光二極管芯粒測試承載部，其特征在于：所述運動載料部（20）還包括吸附塊（23）；

所述吸附塊（23）連接于運動部（22），所述吸附塊（23）設置有真空吸附孔。

8.根據權利要求5所述的激光二極管芯粒測試承載部，其特征在于：所述運動部（22）設置有多個真空吸附孔，所述多個真空吸附孔沿運動部（22）旋轉軸均勻分布。

9.根據權利要求1所述的激光二極管芯粒測試承載部，其特征在于：所述運動載料部（20）旋轉軸平行于豎直方向。

10.一種激光二極管芯粒測試設備，其特征在于：所述激光二極管芯粒測試設備包括權利要求1-9任意一項所述的激光二極管芯粒測試承載部。