[實用新型]一種真空鍍膜設備有效
| 申請號： | 201920624234.1 | 申請日： | 2019-05-05 |
| 公開（公告）號： | CN210420124U | 公開（公告）日： | 2020-04-28 |
| 發明（設計）人： | 劉彬 | 申請（專利權）人： | 北京實力源科技開發有限責任公司 |
| 主分類號： | C23C14/02 | 分類號： | C23C14/02;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100070 北京市豐臺區科技*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 真空鍍膜 設備 | ||
1.一種真空鍍膜設備，包含真空鍍膜腔室，其特征在于，還包含預鍍膜基體、除塵防護室、風淋裝置、抽真空裝置和惰性氣體沖入裝置；
所述除塵防護室與真空鍍膜腔室相連接，所述除塵防護室與真空鍍膜腔室之間設有開關隔斷裝置；
所述預鍍膜基體包括基體和基體表面的遮蓋物；
所述除塵防護室包括遮蓋物脫除裝置和氣體噴嘴陣列；
所述風淋裝置、抽真空裝置和惰性氣體沖入裝置與除塵防護室相連接。
2.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜設備，其特征在于，所述遮蓋物脫除裝置包括滾筒和帶動所述滾筒轉動的電機。
3.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜設備，其特征在于，所述遮蓋物為塑料薄膜、柔性金屬。
4.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜設備，其特征在于，所述風淋裝置包括鼓風機，所述鼓風機兩端設置有進氣通道和排氣通道。
5.根據權利要求4所述的一種真空鍍膜設備，其特征在于，所述進氣通道與排氣通道與所述除塵防護室相連接，所述進氣通道和排氣管道分別設置有第一閥門和第二閥門。
6.根據權利要求4所述的一種真空鍍膜設備，其特征在于，所述鼓風機內部設置有濾塵裝置。
7.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜設備，其特征在于，所述抽真空裝置包括真空泵和與連接所述除塵防護室和所述真空泵的氣體通道，所述氣體通道設置有第三閥門。
8.根據權利要求4所述的一種真空鍍膜設備，其特征在于，所述惰性氣體沖入裝置包括惰性氣體氣源和輸入惰性氣體通道，所述輸入惰性氣體通道設置有第四閥門。
9.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜設備，其特征在于，所述除塵防護室內惰性氣體的氣壓大于1個大氣壓。
10.根據權利要求8所述的一種真空鍍膜設備，其特征在于，所述氣體噴嘴陣列與所述排氣通道相連，所述氣體噴嘴陣列與所述輸入惰性氣體通道相連。
11.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜設備，其特征在于，所述氣體噴嘴陣列位于所述除塵防護室內表面。
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