[實用新型]一種硅片切割液過濾冷卻裝置

有效

• 申請號: 201920583926.6
• 申請日: 2019-04-26
• 公開（公告）號: CN209832254U
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發明（設計）人: 曾磊;張玉玉;紀楊
• 申請（專利權）人: 山東大海新能源發展有限公司
• 主分類號: B28D7/02
• 分類號: B28D7/02
• 代理公司: 11253 北京中北知識產權代理有限公司
• 代理人: 段秋玲

本實用新型公開了一種硅片切割液過濾冷卻裝置，涉及硅片切割液處理設備技術領域。本實用新型，過濾箱(1)內斜向設置過濾板；冷卻箱(2)中設置內部帶有制冷管(206)的冷卻板；進液管道(501)連接著過濾箱(1)，過濾箱(1)通過中間管道(502)與冷卻箱(2)連接，冷卻箱(2)連接著出液管道(503)，制冷器(4)通過冷管(504)連通著置于冷卻箱(2)中的冷卻板內的制冷管(206)。與現有技術相比，本實用新型中，可以對切割液進行過濾、冷卻處理，使其循環再利用，不排廢液；過濾板斜向布置，可溢流不阻滯過濾；多道過濾，處理后的切割液純度高，對硅片切割面質量有利；以冷水作為切割液時，能夠節約水資源。

技術領域

本實用新型涉及硅片切割液處理設備技術領域，特別涉及一種硅片切割液過濾冷卻裝置。

背景技術

硅片是電子產品制造中重要的原材料，將硅錠加工成硅片的過程中，常采用金剛線對硅錠進行線切割，硅錠與金剛線之間劇烈摩擦瞬時產生大量熱量，需要使用切割液冷卻金剛線，保持金剛線的剛度，當切割液溫度升高后會失去冷卻作用；而且，切割液在冷卻金剛線時，切割產生的硅粉或金剛線粉會進入到切割液中，切割液中的硅粉或金剛線粉會影響到硅片切割平面的光滑程度，含量越多，對硅片切割面質量越不利。因此，需要經常更換切割液，保持其低溫和純度，一直以來含雜質的高溫切割液的處理是個難題。

通常工廠以冷水作為切割液，使用過后對其進行過濾除雜、降溫即可變回高純度冷水，可再作為切割液使用，解決含雜質的高溫切割液處理難題，節約水資源。

發明內容

本實用新型提供一種硅片切割液過濾冷卻裝置，對含雜質的高溫切割液進行過濾、冷卻處理，可循環再利用。

具體技術方案是，一種硅片切割液過濾冷卻裝置，包括：過濾箱、冷卻箱、制冷器、進液管道、中間管道、出液管道和冷管；過濾箱內斜向設置過濾板；冷卻箱中設置內部帶有制冷管的冷卻板；進液管道連接著過濾箱的第一進口，過濾箱的第一出口通過中間管道與冷卻箱的第二進口連接，冷卻箱的第二出口連接著出液管道，制冷器通過冷管連通著置于冷卻箱中的冷卻板內的制冷管。

在出液管道處需要設置泵，提供切割液輸送動力；切割液流速較緩慢，設備布局上借助重力作用完成過濾、冷卻的處理過程，處理后的高純度低溫切割液需要加壓才能再次輸送至切割裝置中使用。

過濾箱中的過濾板是現有技術中常使用到的過濾板，主要起到對含雜質的高溫切割液進行過濾除雜的作用；橫向設置的過濾板易被濾除的雜質堵住而阻滯過濾工序，過濾板斜向設置可預留出雜質的沉降空間以及可實現濾液的溢流，不會阻滯過濾工序。

冷卻板中的制冷管中通入冷媒，對切割液濾液進行降溫冷卻，冷卻板不會完全封堵住冷卻箱，冷卻板上或開孔或開槽使切割液濾液流過。持續低溫的冷媒由制冷器提供。

進一步，在過濾箱的內壁上設置底面卡槽和斜邊卡槽，底面卡槽的兩端分別與兩側邊上的斜邊卡槽無縫連接；過濾板置于底面卡槽和斜邊卡槽內。

進一步，過濾箱內的過濾板上端向第一出口處傾斜，傾斜角度為10°-70°。

在一個實施例中，在過濾箱內前后斜向設置兩個過濾板，前邊是一級過濾板，后邊是二級過濾板，一級過濾板的高度高于二級過濾板的高度；一級過濾板的目數≤二級過濾板的目數。在一級過濾板的前端與過濾箱間形成了主沉降區，在一級過濾板的后端與二級過濾板的前端形成副沉降區；一級過濾板目數小孔徑大，濾除出大顆粒的雜質沉降在主沉降區中；二級過濾板目數大孔徑小，濾除出稍小的顆粒雜質沉降在副沉降區中。

進一步，冷卻板的板主體上設置有熱交換孔，熱交換孔是一種通孔；冷卻板的板主體是避開了內部制冷管的區域。冷卻板四周側邊分別與冷卻箱內壁貼合，切割液濾液經熱交換孔流到冷卻板下方，流經熱交換孔時，制冷管中的冷媒帶走切割液濾液的大部分熱量。