[實用新型]漏液傳感器的固定裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920482663.X
• 申請日: 2019-04-10
• 公開（公告）號: CN209513197U
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 潘展望;顏廷彪;黃志凱
• 申請（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: G01M3/40
• 分類號: G01M3/40
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

本實用新型提供一種漏液傳感器的固定裝置，包括第一固定部件及第二固定部件；第一固定部件包括調(diào)節(jié)單元，漏液傳感器與調(diào)節(jié)單元相接觸，且通過調(diào)節(jié)單元固定漏液傳感器；第二固定部件與機(jī)器相連接，且第一固定部件與第二固定部件相連接。本實用新型通過調(diào)節(jié)單元固定漏液傳感器，從而可提高安裝及拆卸漏液傳感器的次數(shù)，提高固定裝置的使用便捷性，延長固定裝置的使用壽命；通過與機(jī)器相連接的第二固定部件實現(xiàn)第一固定部件與機(jī)器的連接，方便第一固定部件的安裝及拆卸，降低對漏液傳感器的拆裝頻率，從而提高漏液傳感器及調(diào)節(jié)單元的使用壽命；可提高機(jī)器的利用率，提高產(chǎn)能，提高產(chǎn)品質(zhì)量，避免資源的浪費。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，涉及一種漏液傳感器的固定裝置。

背景技術(shù)

晶圓的制造工藝通常包括光刻、離子注入、刻蝕、熱處理、氣相沉積等諸多工序。其中，在晶圓的光刻工藝中，尤其在晶圓的涂膠、顯影工藝中，需用到非常多的化學(xué)液體及水，該部分化學(xué)液體大多帶有腐蝕性，如若發(fā)生泄漏現(xiàn)象，會對工作人員、機(jī)器以及產(chǎn)品產(chǎn)生危害，造成損失。因此為及時檢測到液體泄漏現(xiàn)象，以降低危害及損失，在半導(dǎo)體機(jī)器中安裝漏液傳感器尤為重要。采用漏液傳感器，可以實時偵測到機(jī)器是否有漏液，以保障工作人員、機(jī)器及產(chǎn)品的安全。

現(xiàn)有的漏液傳感器的安裝方式通常采用金屬彈片進(jìn)行固定，如在ACT12系列的涂膠顯影設(shè)備中，漏液傳感器的安裝方式通常是將漏液傳感器通過三個金屬片進(jìn)行固定，以實現(xiàn)漏液傳感器與機(jī)器相固定。但當(dāng)機(jī)器需要保養(yǎng)、檢查維護(hù)漏液傳感器、清潔漏液傳感器或更換漏液傳感器時，均需要轉(zhuǎn)移漏液傳感器，而此時則需要將固定漏液傳感器的金屬片撥開，以取出漏液傳感器。如此操作，會使金屬片失去彈性，甚至造成金屬片斷裂，因此會導(dǎo)致漏液傳感器的翹起，造成漏液傳感器的誤報警，使得機(jī)器處于停機(jī)的狀態(tài)，降低了機(jī)器的利用率，造成產(chǎn)能的浪費，甚至由于機(jī)器的停機(jī)，影響產(chǎn)品質(zhì)量，使得工作人員需對產(chǎn)品進(jìn)行檢修，造成人力的浪費、降低了產(chǎn)品的質(zhì)量。

實用新型內(nèi)容

鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種漏液傳感器的固定裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中，漏液傳感器通過金屬片進(jìn)行固定的方式所引起的上述一系列的資源的浪費及降低產(chǎn)品質(zhì)量的問題。

為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種漏液傳感器的固定裝置，所述固定裝置包括：

第一固定部件，所述第一固定部件包括調(diào)節(jié)單元，所述漏液傳感器與所述調(diào)節(jié)單元相接觸，且通過所述調(diào)節(jié)單元固定所述漏液傳感器；

第二固定部件，所述第二固定部件與機(jī)器相連接，且所述第一固定部件與所述第二固定部件相連接。

可選地，所述調(diào)節(jié)單元包括與所述漏液傳感器的側(cè)面及上表面中的一種或組合相接觸。

可選地，所述調(diào)節(jié)單元包括調(diào)節(jié)式夾具，所述調(diào)節(jié)式夾具包括彈性夾具及卡扣夾具中的一種或組合。

可選地，所述調(diào)節(jié)單元與所述第二固定部件相連接。

可選地，所述第一固定部件還包括支撐架，所述支撐架與所述調(diào)節(jié)單元相連接。

可選地，所述調(diào)節(jié)單元包括彈簧、螺栓及旋轉(zhuǎn)式卡片中的一種或組合。

可選地，所述調(diào)節(jié)單元的個數(shù)范圍包括2個～10個。

可選地，所述第一固定部件與所述第二固定部件的連接方式包括彈性卡扣連接、銷連接、螺紋連接及鎖扣連接中的一種或組合。

可選地，所述固定裝置還包括連接單元，所述連接單元位于所述第一固定部件與所述第二固定部件之間，且所述連接單元連接所述第一固定部件與所述第二固定部件。

可選地，所述第二固定部件與所述機(jī)器的連接方式包括焊接、鉚接、彈性卡扣連接、銷連接、螺紋連接及鎖扣連接中的一種或組合。